陈晰
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：徐州空军学院航空油料物资系更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 化学实验中心的人性化管理被引量：1
- 2010年
- 高校教学实验室在提高学生综合素质和培养创新型人才方面具有十分重要的地位与作用,为此,我院化学实验教学中心从教学理念、队伍建设、人才培养等方面入手,就如何以人为本,构建科学、规范、和谐的现代化实验室,进行了有益的探索与尝试。
- 吴楠陈晰李争鸣
- 关键词：以人为本化学实验教学中心实验室管理
- 氧在溅射和退火过程中对ZnO薄膜的影响研究
- 2009年
- 利用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了高度C轴择优取向的纳米ZnO薄膜,采用扫描电子显微镜、电子能谱仪和X射线衍射分析仪研究了溅射过程中和热处理过程中氧气对ZnO薄膜形貌、成分以及结构的影响规律。结果表明:在溅射过程中和退火过程中通入适量的氧气,ZnO薄膜(002)衍射面的晶面间距变小,薄膜中的氧含量提高,薄膜中的缺陷减少。在空气气氛中退火2h的薄膜,质量几乎接近了在溅射过程中通入氧气所制得的样品。因此在溅射制备ZnO薄膜时,可以减少氧气用量甚至无需通入氧气,而在热处理过程中实现增氧,从而降低了制备成本,简化了薄膜的制备工艺。
- 徐芸芸张韬陈晰徐新李争鸣
- 关键词：ZNO薄膜XRD氧气退火
