陈扬辉
- 作品数：3 被引量：13H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 工艺参数对磁控溅射碳化锆薄膜的微结构与力学性能影响被引量：1
- 2011年
- 采用碳化锆靶通过磁控溅射方法制备一系列碳化锆薄膜,采用XRD、SEM、AFM和微力学探针研究溅射气压和基片温度对碳化锆薄膜的微结构和力学性能的影响。结果表明:低溅射气压下,薄膜呈现结晶良好的柱状晶结构,其硬度和弹性模量分别为30.1GPa、256GPa。溅射气压提高到2.0Pa以上后,薄膜的柱状晶结构受到破坏,晶粒减小,致密性降低,晶界强度亦降低,导致其硬度和弹性模量显著降低。基片温度提高到200℃以上后,薄膜呈现强烈的(111)择优取向,其硬度和弹性模量有所提高并保持稳定。
- 陈扬辉张晶晶周颐辛李戈扬
- 关键词：磁控溅射微结构力学性能
- ZrC、VC薄膜以及ZrC/TiC、VC/SiC纳米多层膜的微结构与力学性能
- 陈扬辉
- 关键词：微结构
- 反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
- 2009年
- 在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用在Ar-C2H2混合气体中的射频反应磁控溅射技术可以方便地合成碳化钒薄膜。但是,只有在C2H2分压为混合气体总压约4%附近很窄的范围内才可获得力学性能优异的碳化钒薄膜。其硬度和弹性模量分别达到35.5GPa和358GPa,此时,薄膜为NaCl结构的VC,且具有柱状生长的特征。随着C2H2分压的提高,薄膜形成六方结构的-γVC,并逐渐产生非晶碳相,硬度和弹性模量随之降低。
- 李广泽乌晓燕陈扬辉李戈扬
- 关键词：碳化钒硬质薄膜微结构力学性能磁控溅射
