邹英寅
- 作品数:23 被引量:53H指数:4
- 供职机构:浙江大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金浙江省科技计划项目国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 基于透明铁电陶瓷的高速可变光衰减器被引量:3
- 2006年
- 透明铁电陶瓷具有很高的电光效应和快速的响应时间,但其存在回滞效应且受温度影响大,存在稳定性问题。该文采用后反馈闭环控制技术,有效地克服了这一缺点,制成了高性能的高速可变光衰减器模块。实验结果表明该器件模块的响应时间约10μs,衰减动态范围大于25 dB,插入损耗小于0.6 dB。
- 陈捷曹永良章献民陈抗生邹英寅
- 关键词:可变光衰减器闭环控制
- 利用表面微机械加工技术的氧化锌传感器新结构研究
- 王跃林邹英寅陈抗生
- 关键词:金属切削氧化锌半导体传感器生产工艺
- 体声波复合谐振器新结构的研究被引量:2
- 1994年
- 本文报道了一种由氧化锌薄膜和多晶硅膜片构成的体声波复合谐振器的新结构,与传统制作在硅支撑膜片上的压电复合谐振器不同,多晶硅支撑膜采用表面微机械技术获得,因而是完全平面工艺,不需要双面光刻和背面腐蚀。采用S枪磁控反应溅射在多晶硅膜片上获得了c轴取向良好的氧化锌薄膜。所得的谐振器的基波工作频率在560MHz左右,而尺寸小于250×250μm2。
- 邹英寅王跃林
- 关键词:压电薄膜谐振器
- 氧化锌压电薄膜传感器设计理论研究被引量:6
- 1994年
- 利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应,微机械结构的应力分布,以及压电感应电荷与器件尺寸的关系。这些结果可为器件的设计提供理论依据。
- 陈晓明金仲和邹英寅
- 关键词:压电薄膜微机械传感器氧化锌
- 声电输运过程的行波分析
- 砷化镓声电输运器件已发展成为新一代高速信号处理器件,它在通信、电子战、电子对抗等实时信号处理方面有着广泛的应用前景。本文研究了声电输运器件中的声电输运过程,分析了输运电荷包形状、电荷输运量等性质与器件工作状态的关系。声电...
- 邹英寅凌明芳陈抗生
- 关键词:行波声表面波器件电荷输运
- 砷化镓声电荷输运的二维互作用模型
- 1994年
- 本文对砷化镓Schottky-N结构的埋沟声电荷输运器件中的信号电荷包与声表面波非线性互作用建立了二维模型.研究了电荷包的声表面波输运特性,给出了包内信号电行密度分布,电荷包形状及电荷量随器件电荷加载、沟道常数等特性参量的变化特性.
- 邹英寅
- 关键词:砷化镓电荷输运
- 砷化镓声电输运器件理论、设计与工艺研究
- 邹英寅
- 高分子薄膜电阻型湿度传感器被引量:1
- 1991年
- 本文介绍一种新型的高分子薄膜型湿度传感器的结构、感湿原理,制造工艺过程及其湿敏特性。湿敏材料由高分子电解质——聚苯乙烯磺酸钠、粘结剂聚乙烯醇、交联剂的水溶液——按一定重量比配制而成。为了改善其湿敏特性和抗湿性,对已涂复湿敏膜的传感器进行低温等离子体处理。这种新型湿度传感器具有体积小(仅4mm×6mm)、制造工艺简单、成本低、响应速度快等优点。而且它的湿敏特征量——电阻的对数与相对湿度成线性关系,便于二次仪表设计,可望在各个领域的湿度实时检测和控制中获得广泛应用。
- 凌明芳张兴义邹英寅王甦珍忻永和
- 关键词:传感器
- 声电输运器件的沟道特性研究被引量:4
- 1992年
- 为实现砷化镓声电输运,必须在外延层中建立电子输运沟道.本文对金属-n型外延层-半绝缘衬底结构的输运沟道给出耗尽分析的解析表达式,分析了外延层厚度、掺杂浓度、偏置电压等参数对输运沟道耗尽特性的影响,以及器件表面存在氧化层时对器件工作特性的影响.
- 邹英寅凌明芳陈抗生
- 声电输运器件的表面波特性分析被引量:2
- 1992年
- 本文讨论了埋沟砷化镓声电输运器件中声表面波传播特性,金属栅阵列的散射特性和导电理层对表面波的屏蔽特性。比较了不同沟道结构中表面波电位分布及不同金属结构对表面波的散射。指出了为获得性能优良的声电输运器所需结构参数的选择。
- 邹英寅凌明芳陈抗生
- 关键词:声表面波半导体器件