邓登
- 作品数:10 被引量:12H指数:2
- 供职机构:上海理工大学更多>>
- 发文基金:中国航空科学基金国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
- 金属互连线电迁移的影响因素被引量:1
- 2018年
- 应用有限元分析软件ABAQUS,对金属互连线的电迁移过程进行了电热耦合仿真分析,比较了不同互连线材料、不同温度、不同层间介质等因素对互连线电迁移失效的影响.结果表明,与铝硅合金互连线相比,在同样电流密度条件下,无论是电势梯度最大值还是热通量最大值,铜互连线的均高于铝互连线的,从而将加速互连线的电迁移;在一定的温度范围内,电流密度是影响互连线电迁移寿命的主要因素,而温度的变化对其影响较小;与SiO_2相比,SiN作为层间介质能够防止互连线中的热聚集,有利于互连线热量的散发,从而对于缓解电迁移具有积极的作用.
- 崔海坡刘晓杰邓登
- 关键词:电迁移影响因素电热耦合互连线
- 动静脉脉冲治疗仪
- 1.本外观设计产品的名称:动静脉脉冲治疗仪。;2.本外观设计产品的用途:用于下肢深静脉血栓的康复治疗。;3.本外观设计的设计要点:产品的形状。;4.最能表明设计要点的图片或者照片:主视图。
- 周勋程恩清邓登李哲龙崔海坡
- 文献传递
- 轮椅车跌落强度测试装置
- 一种轮椅车跌落强度测试装置,包括测试平台、支撑框架、驱动电机、凸轮机构、导柱机构、传动板、用于系住轮椅车的尼龙绑带和红外计数器。整套装置的结构简单。将轮椅车放置在测试平台上并与尼龙绑带连接后,开动电机,整套装置将按照机械...
- 崔海坡宋成利邓登姜大卫李哲龙常丽南周勋
- 文献传递
- 同一PCB板上不同封装结构的热应力分析被引量:7
- 2013年
- 基于ABAQUS有限元分析软件,对同一PCB板上QFP和PBGA两种不同封装结构,在温度循环载荷下的应力场进行了研究,并对不同封装结构的性能进行了比较分析。结果表明:在温度循环载荷下,无论何种封装组件,越靠近PCB板的边缘,器件的应力值越大;在同等条件下,PBGA封装器件的应力值高于QFP封装器件;以同类封装器件中最大应力值的10%为临界点,封装器件中应力值比最大应力值小10%以上的为非薄弱元器件,其余均定义为薄弱元器件。根据该定义,对前述5组QFP和PBGA封装器件,除位于PCB板中间位置的外,其余各组封装器件均为薄弱元器件。
- 崔海坡邓登程恩清
- 关键词:PCB板封装结构热应力分析有限元分析
- 抗血栓压力循环系统测试平台
- 1.本外观设计产品的名称:抗血栓压力循环系统测试平台。;2.本外观设计产品的用途:专门用于抗血栓压力循环系统性能参数的测。;试平台。;3.本外观设计的设计要点:产品的形状。;4.最能表明设计要点的图片或者照片:立体图。
- 周勋程恩清邓登李哲龙崔海坡
- 文献传递
- 铝硅合金互连线电迁移失效试验被引量:2
- 2015年
- 随着微电子技术的发展,作为超大规模集成电路互连线的金属薄膜的截面积越来越小,其承受的电流密度急剧增加,电迁移引起的互连失效变得尤为突出.针对集成电路中金属互连线的电迁移现象,以Black方程为基础,对其进行了修正.并以铝硅合金互连线为研究对象,对其电迁移过程进行了详细的加速寿命试验研究,获取了修正后的Black方程中的相关参数,分析了不同环境温度、不同电流密度、不同初始电阻等因素对铝互连线电迁移的影响规律.结果表明,铝硅合金互连线的电迁移寿命与上述参数均成反比关系.
- 崔海坡邓登
- 关键词:电迁移加速寿命试验互连线
- 轮椅车跌落强度测试装置
- 一种轮椅车跌落强度测试装置,包括测试平台、支撑框架、驱动电机、凸轮机构、导柱机构、传动板、用于系住轮椅车的尼龙绑带和红外计数器。整套装置的结构简单。将轮椅车放置在测试平台上并与尼龙绑带连接后,开动电机,整套装置将按照机械...
- 崔海坡宋成利邓登姜大卫李哲龙常丽南周勋
- 文献传递
- 金属互连线电迁移过程中的高温蠕变行为研究被引量:1
- 2016年
- 基于ABAQUS有限元分析软件,对金属互连线的蠕变行为进行了研究,获取了高温下的蠕变应力分布云图,并分析了不同温度、不同升温速率等参数对铝硅合金互连线蠕变行为的影响规律。结果表明:在温度载荷作用下,铝硅合金互连线的蠕变应力在互连线狭窄部位即尺寸突变的部位,呈现明显的应力集中现象;随着温度载荷的升高,互连线内部的蠕变应力值逐渐增大,且二者之间的关系近似为一条直线;在其他条件均相同的情况下,升温速率越快,互连线内部应力达到最大值所用的时间就越短,导致互连线承受高应力值的时间就越长,从而会加速部件的失效。
- 崔海坡邓登
- 关键词:蠕变互连线电迁移有限元分析
- 金属互连结构的电迁移仿真分析被引量:1
- 2015年
- 针对集成电路中金属互连线的电迁移现象,应用有限元分析软件ABAQUS,对铝硅合金互连线的电迁移过程进行了电热耦合研究,分析了不同电流密度与电势梯度、热通量、互连线内部总能量之间的相互关系,比较了不同结构尺寸对铝互连线电迁移失效的影响规律.结果表明,在互连线的狭窄部位,电势梯度和热通量达到最大值并具有集中性;电势梯度和热通量与通电时间及电流密度均成正比例关系;随着通电时间的延长,互连线内部总能量的变化趋势为先急剧下降再上升并达到某一平衡值;随着铝互连线宽度的增加,互连线内部的热通量逐渐减小.对于文中分析的结构模型,当互连线宽度低于2μm后,互连线失效的概率将大幅度增加.
- 邓登崔海坡
- 关键词:电迁移互连线电热耦合电流密度
- 金属互连线电迁移失效试验与仿真研究
- 随着微电子技术的发展,集成电路的特征尺度不断减小,作为超大规模集成电路互连线的金属薄膜的截面积也越来越小,其承受的电流密度急剧增加。当互连线线宽进入到深亚微米量级时,电流密度达到MA/cm2数量级,电迁移引起的互连失效变...
- 邓登
- 关键词:电迁移加速寿命试验互连线电热耦合
- 文献传递