苏伟涛
- 作品数：10 被引量：46H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 长波红外低折射率材料研究
- 在本研究中，使用真空热蒸发的方法制备了稀土氟化物(氟化镧、氟化铈、氟化镨、氟化钐、氟化铒、氟化镱、氟化钇)薄膜。使用XRD、SEM、光谱分析等测试方法对这些稀土氟化物薄膜的结构、表面形貌以及光学性能进行了研究;使用经典洛...
- 苏伟涛
- 关键词：光学常数光学性能
- 红外光学薄膜材料光学常量计算和在宽带增透膜中的应用被引量：8
- 2008年
- 使用经典洛伦兹谐振子模型对热蒸发制备的锗、硫化锌以及低吸收稀土氟化物薄膜的红外透射光谱进行拟合,得出这些材料在中长波红外区的光学常量.使用这三种材料设计并制备了锗窗口7.7～15μm宽带增透膜系,通过优化设计并且使用长波红外区吸收小的低折射率材料,在长波区(13～15μm)的透过率测量值有明显提高,15μm处的透过率为89.9%.
- 苏伟涛李斌刘定权李大琪张凤山
- 关键词：光学薄膜红外增透膜
- 压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响被引量：4
- 2004年
- 采用射频溅射方法在聚脂 (PET)胶片上沉积ZnO∶Al薄膜 ,实验结果表明沉积压强对氧化锌透明导电薄膜的表面形貌、结构、光电性能等有较大的影响 ,在低的沉积压强下薄膜具有很好的(0 0 2 )结构 ,有优良的光、电综合性能。同时详细讨论了影响结构和性能的诸因素。
- 苏伟涛余志明刘昕杨莉
- 关键词：氧化锌透明导电射频溅射
- 基于洛伦兹模型的红外光学常数拟合及应用
- 在中长波红外区域,通常使用的镀膜材料都存在相当大的色散和一定的吸收。就目前的测试技术来说,确定这些材料的色散和吸收相当困难。在本文中,使用洛伦兹模型作为材料的色散模型,对通常使用的镀膜材料的透射光谱进行拟合,计算出这些材...
- 苏伟涛李斌李大琪刘定权张凤山
- 文献传递
- 氟化铒薄膜晶体结构与红外光学性能的关系被引量：5
- 2007年
- 使用热蒸发技术在锗(111)衬底上制备了氟化铒(ErF3)薄膜.XRD衍射结果表明,随着衬底温度的增加,氟化铒薄膜发生了从非晶状态到结晶状态的转变,薄膜的表面形貌和红外光学性能也发生了显著的变化,部分结晶的氟化铒薄膜的远红外透射谱和完全非晶的薄膜基本一致,但是与结晶薄膜则没有相似之处.晶格常数计算表明薄膜中存在压应力.使用洛伦兹谐振子模型对薄膜的透射率曲线进行拟合计算,得到ErF3薄膜的折射率和消光系数.在10μm处非晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.38和0.01,结晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.32和0.006.
- 苏伟涛李斌刘定权张凤山
- 关键词：光学常数
- 氮气流量、基体温度对反应溅射(Ti,Al)N成膜影响被引量：5
- 2004年
- 采用反应直流磁控溅射的方法 ,通过控制基体温度和N2 /Ar流量比 ,在WC 6%Co基体表面上成功地制备了 (Ti,Al)N薄膜。用AFM、XRD、显微硬度测试仪对薄膜的显微形貌、成分、显微硬度进行了测试。结果表明 ,在N2 /Ar流量比较低时薄膜存在明显的(Ti ,Al)N的 ( 111)织构 ,随着N2 /Ar流量比的增大 ,这种 ( 111)织构逐渐变弱 ,薄膜显微形貌发生较明显的变化 ,显微硬度也随之变化 ;N2 /Ar流量比超过某一门槛值时不能生成 (Ti,Al)N ;在一定范围内 ( 2 5 0～ 40 0℃ ) ,温度对薄膜质量的影响不是很明显。
- 刘昕余志明尹登峰苏伟涛杨莉
- 关键词：(TI,AL)N直流磁控溅射显微形貌织构
- 几种长波红外低折射率材料的研究进展被引量：2
- 2006年
- 本文对几种长波红外光学薄膜材料,如氧化钆、氟化铒、氟化锌、氟化铟、聚乙烯等的物理性能进行了讨论。文中总结了这些薄膜的制备工艺进展情况,对这些薄膜的光学性能进行了评价。作为长波红外低折射率材料,这几种材料在将来都有应用潜力。如果将这几种薄膜材料用于滤光片的设计和生产,还必须对其进行深入的研究。
- 苏伟涛李斌
- 关键词：光学薄膜氧化钆聚乙烯
- 硬质合金基体腐蚀工艺对金刚石薄膜的影响被引量：13
- 2004年
- 采用不同的预处理方式浸蚀YG6硬质合金基体表面,随后在热丝化学气相沉积装置上沉积了金刚石薄膜。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪以及洛氏硬度计对样品进行了分析检测。结果表明:一步或两步浸蚀法都能抑制沉积过程中基体表面钴的不利影响。采用两步法,即Murakami剂30min腐蚀碳化钨相,再用H2SO4∶H2O2=3∶7(体积比)混合酸腐蚀30s去除钴相,基体表面粗糙,金刚石薄膜形核密度高,结晶质量较好,金刚石涂层与硬质合金基体结合良好。
- 杨莉余志明殷磊刘昕苏伟涛李泳侠邹丹
- 关键词：硬质合金浸蚀热丝化学气相沉积扫描电子显微镜X射线衍射仪
- 射频溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及性能研究
- 本文首先对透明导电薄膜/(TCO/)的发展进行了总结，讨论了铝搀杂氧化锌薄膜/(AZO/)的性能优点，之后对AZO薄膜的晶体结构、搀杂、制备方法、用途进行了综合描述，并指出了透明导电薄膜的发展趋势。在此基础上，使用射频磁...
- 苏伟涛
- 关键词：AZO射频溅射透明导电
- 文献传递
- 基于洛伦兹模型的红外薄膜材料光学常数拟合及应用被引量：4
- 2006年
- 在中长波红外区域,通常使用的镀膜材料都存在相当大的色散和一定的吸收。就目前的测试技术来说,确定这些材料的色散和吸收相当困难。试验基于洛伦兹谐振子模型对热蒸发制备的锗、硫化锌以及稀土氟化物薄膜的红外透射光谱进行拟合,得出这些材料在中长波红外区的光学常数。使用锗、硫化锌和稀土氟化物分别作为高折射率层(H)、中间折射率层(M)和低折射率层(L),设计并制备了从6.8μm^15μm的锗窗口宽带增透膜系,测量结果完全可以满足光机系统的要求。
- 苏伟涛李斌刘定权张凤山
- 关键词：光学常数红外增透膜
