祁晓瑾
- 作品数：9 被引量：57H指数：5
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金山西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计被引量：11
- 2006年
- 根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法。结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合。最后设计了一套可行的加工工艺。
- 石云波祁晓瑾刘俊
- 关键词：微机电系统高G值敏感元件
- 微型高过载加速度传感器的加工与测试被引量：17
- 2008年
- 针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。利用霍普金森冲击校准装置进行冲击加速度动态特性校准,试验结果分析表明,被测微加速度传感器的灵敏度为0.71μV/g,与理论值基本吻合。结构受到200 000g冲击后完好且输出信号正常,能有效地满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求。
- 石云波祁晓瑾刘俊孟美玉
- 关键词：高过载加速度传感器
- MEMS高g值加速度传感器研究
- MEMS高g值加速度传感器是MEMS技术应用于引信侵彻过程惯性测试与控制的关键之一。本课题的主要任务是研制基于武器弹药系统高过载侵彻过程的引信用MEMS加速度传感器，主要技术指标有量程150000g;抗过载200000g...
- 祁晓瑾
- 关键词：微机械电子系统压阻式加速度传感器高G值
- 文献传递
- 高gn值微加速度计的设计被引量：2
- 2006年
- 设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn（gn=9．8m／s^2）值加速度计，其量程为0～150000gn，抗冲击200000gn，横向灵敏度小于6％。根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计，并进行应力分析、抗冲击分析、横向效应分析以及灵敏度分析。同时，利用有限元分析软件，对模型进行了静态应力分析和模态分析，给出了具体的分析结果，并与理论值加以比较，从而使该高gn值加速度计的结构分析和设计更加合理。
- 祁晓瑾刘俊石云波
- 关键词：有限元分析
- MEMS加工平台能力评价标准与评估方法
- 张文栋刘俊石云波秦丽任勇峰甄国涌李锦明郭涛马喜宏刘文怡崔永俊沈三民马游春文丰张会新朱平张学松秦海涛唐军祁晓瑾
- 该项目来源于国家863计划“MEMS加工平台能力评价标准与评估方法的研究”（2004AA404041），主要应用MEMS加工平台能力的评价。自课题立项以来，课题组针对MEMS加工平台工艺稳定性、MEMS加速度传感器批次的...
- 关键词：
- 单片双惯性参数加速度计陀螺仪
- 本发明涉及加速度计陀螺仪，具体为单片双惯性参数加速度计陀螺仪。本发明解决现有的加速度计陀螺仪制作工艺精度要求高、信息的后续处理程序复杂、烦琐、结构相对复杂、体积和重量相对大以及只适用于加速度和角速度方向相互垂直的状态等问...
- 刘俊张文栋熊继军任勇峰李锦明石云波唐军祁晓瑾
- 文献传递
- MEMS高G值加速度传感器设计被引量：9
- 2008年
- 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。
- 石云波祁晓瑾刘俊孟美玉
- 关键词：微机电系统高G值加速度传感器仿真
- 单片双惯性参数加速度计陀螺仪
- 本发明涉及加速度计陀螺仪，具体为单片双惯性参数加速度计陀螺仪。本发明解决现有的加速度计陀螺仪制作工艺精度要求高、信息的后续处理程序复杂、繁琐、结构相对复杂、体积和重量相对大以及只适用于加速度和角速度方向相互垂直的状态等问...
- 刘俊张文栋熊继军任勇峰李锦明石云波唐军祁晓瑾
- 文献传递
- 高g微加速度计的研究被引量：8
- 2008年
- 针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了一种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器。该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5μm,为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态,同时玻璃底盖起到了过载保护作用,仿真分析表明该结构可承受200000 gn的加速度载荷。最后对加工出的加速度计进行初步的测试,其灵敏度为4.5μV/g,线性度为3.1%。
- 孟美玉石云波刘俊祁晓瑾
- 关键词：过载
