王春财
- 作品数：8 被引量：12H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：一般工业技术文化科学核科学技术机械工程更多>>
- 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室
- 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管，所述流场检测空间为圆柱形，圆柱体的直径可通过更...
- 程嘉王人成季林红刘伟峰王春财林嘉孙钰淳郝道欣
- 文献传递
- 喷淋孔结构流体动力学特性研究被引量：2
- 2015年
- 喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一。本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了数值仿真研究;讨论了七种不同单个喷淋孔结构的速度场、压力场和温度场分布情况。中性参考气体为氩气,固定入口压力200 Pa、温度300 K。结果表明,喷淋孔入口或出口形状影响腔室的工艺性能;而将喷淋孔入口和出口均设计成锥形,则腔室内流场分布较为理想。研究成果为喷淋板设计提供直接参考,同时对化工、热处理、光伏电池制造等领域中腔室部件的研发具有重要意义。
- 王春财程嘉路益嘉季林红
- 高水平划艇和赛艇运动员划桨技术参数检测与分析
- 王春财
- 关键词：划船运动ROWING
- 静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究被引量：1
- 2016年
- 在等离子体刻蚀工艺中,晶圆的温度控制是关键的技术之一。控制晶圆温度的主要部件即是静电卡盘,因此静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究至关重要。晶圆是依靠静电而吸附在静电卡盘表面的,且粗糙接触面之间充有稀薄的氦气。本文将静电吸附的因素引入到经典的接触传热理论中,建立了静电卡盘与晶圆之间的接触传热模型,并研究了静电电压和气体压强对于接触传热系数的影响。此外,本文结合作者先前研究中建立并得到验证的全范畴气体导热模型,对静电吸附作用下的接触导热和稀薄气体条件下的气体导热进行了对比,得到了接触导热对总的导热效果的贡献比例。本文的研究有助于揭示静电卡盘和晶圆之间的传热机理,以及二者之间接触热阻的计算。
- 孙钰淳程嘉路益嘉季林红王春财
- 关键词：接触导热热阻晶圆稀薄气体
- 划艇运动力学参数检测与分析被引量：8
- 2007年
- 研制了一种集划桨力、划桨过程中桨的偏转角度、艇的俯仰角度和倾覆角度、艇速等多个运动力学参数为一体的新型划艇测试评价系统,实现了对这些参数的同步采集。系统通过传感器(力传感器、角度传感器和速度传感器)将采集到的数据无线传输至计算机,利用自行开发研制的软件系统,教练员可以实时地掌握运动员划船过程中的运动状态。整个系统的重量比较轻,并且数据的主要传输采用无线形式,既保证了教练员实时的了解以往单凭眼睛观测和经验判断而很难得到的一些划桨技术细节信息,同时不会对运动员的正常划船技术动作的产生过多的干扰。
- 曹春梅王春财季林红王子羲陈小平
- 关键词：划艇测试系统
- 基于Delaunay三角形网格的2维DSMC算法实现及应用被引量：2
- 2015年
- 传统的直接模拟Monte Carlo(DSMC)程序以直角网格为基础,在计算复杂的流动边界时不可避免地会带来一定误差。非结构网格虽然能够贴体地适应任何复杂流动边界,但因其拓扑结构的无序性、算法复杂、效率低等缺点而较少使用。该文提出一种基于Delaunay三角形网格的粒子轨迹追踪算法。该算法用背景网格将计算域分成若干矩形区域,通过首先确定矩形区域再搜索三角形网格的方法实现粒子轨迹的追踪与定位。以该算法为核心编制了C语言版本的2维DSMC计算程序。通过与经典文献算例对比,验证了该算法的有效性。利用该DSMC程序研究了真空腔室内喷淋头(showerhead)微孔孔径变化对流场分布均匀性的影响。中性参考气体为氩气,固定入口压力200Pa、温度300K。结果表明:增加微孔孔径有利于提高径向速度和温度分布的均匀性,而减小微孔孔径有利于提高径向压力分布的均匀性。
- 王春财程嘉季林红路益嘉孙钰淳林嘉
- 关键词：微孔DSMC数值模拟非结构网格
- 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室
- 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管，所述流场检测空间为圆柱形，圆柱体的直径可通过更...
- 程嘉王人成季林红刘伟峰王春财林嘉孙钰淳郝道欣
- 文献传递
- 一种划桨测力装置结构优化设计
- 2007年
- 为了提高划桨测力装置的检测精度,对其结构的关键几何参数进行了优化设计。由于划桨的结构、材料和制造工艺特殊性,特别是在加装测力装置后,划桨结构的力学特性复杂,传统的优化设计方法难以解决。应用有限元分析软件ANSYS,建立了划桨测力装置结构的参数化模型和优化计算的数学模型,对划桨测力装置的套筒结构关键几何参数进行了优化设计。结果表明,经优化设计的划桨测力装置套筒直径比原设计尺寸减少了4.9mm。并辅助以相关的物理实验,使优化结果比较可信。
- 王春财曹春梅季林红王子羲金晓强
- 关键词：测力装置优化设计ANSYS
