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林秀芬

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：福州大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇气敏
  • 1篇气敏特性
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇溅射
  • 1篇反应溅射
  • 1篇SNO
  • 1篇SNO2薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控反应溅射

机构

  • 1篇福州大学
  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇郑文汀
  • 1篇林永耀
  • 1篇林秀芬

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇1993
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性被引量：8
1993年
报导了对圆形平面靶直流磁控反应溅射生成的SnO_2薄膜的实验测试和对实验结果的分析。研究结果表明,SnO_2薄膜对一些有毒气体或可燃性气体有强的气敏效应和良好的选择性。对SnO_2薄膜的掺杂可大大改变气敏元件的灵敏度、选择性和工作温度。本文还对其工作机理进行探讨及提出可能的解释。
林秀芬郑文汀林永耀
关键词：SNO2薄膜灵敏度
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共1页<1>
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