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林秀芬
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
福州大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
林永耀
中山大学物理科学与工程技术学院...
郑文汀
福州大学
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郑文汀
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林永耀
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林秀芬
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年份
1篇
1993
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磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性
被引量:8
1993年
报导了对圆形平面靶直流磁控反应溅射生成的SnO_2薄膜的实验测试和对实验结果的分析。研究结果表明,SnO_2薄膜对一些有毒气体或可燃性气体有强的气敏效应和良好的选择性。对SnO_2薄膜的掺杂可大大改变气敏元件的灵敏度、选择性和工作温度。本文还对其工作机理进行探讨及提出可能的解释。
林秀芬
郑文汀
林永耀
关键词:
SNO2薄膜
灵敏度
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