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杨远源

作品数：37 被引量：2H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 15篇工件台
  • 10篇惯量
  • 8篇转动惯量
  • 8篇回转
  • 8篇隔振
  • 7篇气浮
  • 7篇光刻
  • 7篇光栅
  • 7篇干涉仪
  • 6篇电机
  • 6篇台体
  • 6篇平面光栅
  • 6篇微动台
  • 6篇线圈
  • 6篇隔振平台
  • 6篇隔振器
  • 6篇光电检测
  • 6篇光电检测器
  • 6篇光刻机
  • 5篇矢量

机构

  • 37篇哈尔滨工业大...

作者

  • 37篇杨远源
  • 36篇王雷
  • 36篇谭久彬
  • 11篇赵勃
  • 2篇闻荣伟
  • 2篇王威
  • 2篇杨文国

年份

  • 1篇2017
  • 5篇2016
  • 6篇2015
  • 8篇2014
  • 10篇2013
  • 6篇2012
  • 1篇2011
共 37 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种六自由度磁浮微动台
一种六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括激光干涉测量系统、电容位移传感器、微动台本体及六自由度驱动电机，该电机水平和垂向驱动均采用呈三角形布置的三个驱动器解耦控制，单个水平驱动器采用在水平驱动线圈上下对称布置...
谭久彬杨远源王雷
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基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮...
王雷谭久彬闻荣伟赵勃杨远源
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基于双基准测量的航空发动机转子装配方法与装置
基于双基准测量的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到...
谭久彬杨远源王雷
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一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台
基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台属于半导体制造装备；该装置包括微动台底座、载物台以及在二者之间呈等边三角形布置的三组相同结构的独立驱动装置；每组独立驱动均可以产生水平和垂向驱动力且具有永磁体磁浮重力补偿功能；...
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基于双层水冷动磁钢气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
基于双层水冷动磁钢气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、传感器信号传输装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之...
谭久彬杨远源王雷
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基于双基准测量的航空发动机转子装配方法与装置
基于双基准测量的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到...
谭久彬杨远源王雷
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一种航空发动机转子堆叠装配方法与装置
一种航空发动机转子堆叠装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对...
谭久彬杨远源王雷
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一种三态充气速率可控式气路结构
一种三态充气速率可控式气路结构属于储气式气动执行机构；气源经由单向阀分别与贮气罐，节流阀一端和二位三通电磁阀A的b<Sub>1</Sub>端口连通，所述的二位三通电磁阀A的a<Sub>1</Sub>端口和c<Sub>1<...
谭久彬杨远源王雷杨文国
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一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置
一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、回转换台齿轮以及旋转连接件构成的回转换台装置，工件台腰部设置有工件台旋转环套和工件台齿轮，在侧面设置工件台转接装置...
谭久彬杨远源王雷
基于无穷刚度和零刚度复合作用的主动负刚度隔微振技术
主动隔微振技术因其优良的低频性能而成为抑制光刻机内部微振动的核心技术之一。微振动直接影响光刻机超精密运动平台的定位精度和计量框架的稳定性，最终制约光刻机最小线宽和套刻精度的提升。微振动干扰包括基础振动和直接干扰两大类。基...
杨远源
关键词：光刻设备反馈控制计算机技术
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