张豪
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 不同厚度聚氯代对二甲苯膜的结晶与性能研究
- 2013年
- 在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32μm、2.39μm、7.98μm和17.11μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试。结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄膜的结晶度提高,表面晶粒尺寸增大,结晶形态更加完整,其表面粗糙度、压入模量和压入硬度呈逐渐增大的趋势。而PC膜表面形貌、力学性能的差异又与结晶度密切相关。
- 张豪温茂萍谭凯元杜自卫田勇
- 关键词：厚度结晶度
- 聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展
- 2013年
- 介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响。针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题。
- 张豪温茂萍田勇谭凯元
- 关键词：聚集态
- 聚氯代对二甲苯薄膜晶态结构及其高温下的演变
- 聚氯代对二甲苯膜(简称PC膜)具有优良的水气阻隔性、防腐蚀性、电绝缘性以及物理机械等性能,它被广泛应用于半导体、MEMS微器件技术、材料防护等诸多领域。PC膜的晶态结构是其结构演变的主要形式之一,也是影响薄膜性能的重要因...
- 张豪
- 关键词：晶态结构高温
- 文献传递
