廖宁波
- 作品数：49 被引量：13H指数：2
- 供职机构：温州大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 一种SiCNO基压阻薄膜体系及其制备方法
- 本发明公开了一种SiCNO基压阻薄膜体系及其制备方法，包括不锈钢基板，不锈钢基板上依次设有氮化硅薄膜层、SiBCN薄膜层和Co掺杂SiCNO薄膜层，Co掺杂SiCNO薄膜层上经SiAlCN薄膜层设有电极。本发明的最底层的...
- 廖宁波
- 文献传递
- 一种硅碳基高温氢气传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种硅碳基高温氢气传感器，包括单晶硅基板(1)，在单晶硅基板(1)上依次设有二氧化硅层(2)、硅碳基薄膜层(3)、SiAlCO层(4)和电极(5)。制备方法按下述步骤进行：①对单晶硅基板进行预清洗；②重复3‑...
- 廖宁波周峰
- 文献传递
- 基于毫米级圆柱结构的柔性电容式压力传感器研究被引量：1
- 2022年
- 本文研究了具有毫米级圆柱结构的介质层对柔性电容压力传感器灵敏度的影响。设计的传感器使用聚四氟乙烯模具进行倒模、转移工艺制备,所得薄膜介质层排列整齐,形状较好。通过仿真和实验相结合的方法,研究圆柱介质层结构对传感器灵敏度的影响。根据仿真结果可知,传感器灵敏度由4.8×10^(-3)kPa^(-1)提升到1.2×10^(-2)kPa^(-1)。具体实验结果显示,传感器灵敏度由1.2×10^(-5)kPa^(-1)提升到1.2×10^(-4)kPa^(-1),仿真和实验结果均表明毫米级圆柱结构的介质层可以有效提高柔性电容式压力传感器的灵敏度。
- 魏国廖宁波章城
- 关键词：电容式柔性传感器聚二甲基硅氧烷
- 基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺研究
- 2020年
- 利用光学光刻技术进行多种形状规格聚二甲基硅氧烷(PDMS)微纳敏感结构的并行加工。研究了基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺,并加工出不同形状、、不同大小的PDMS微纳敏感结构。此外,对加工后的PDMS微纳敏感结构薄膜进行表征,观察了不同形状、不同大小的PDMS微纳敏感结构的形貌特征。结果表明:基于光学光刻技术的PDMS微纳敏感结构薄膜加工工艺具有加工效率高,加工过程中不需要刻蚀、激光加工等复杂工艺和昂贵设备的特点,并且实现了大批量PDMS微纳敏感结构的并行加工。同时,掩模板上的微纳图案较好地转移到PDMS薄膜上,具有较好的图案曝光成像和图形转移效果。此外,制备的PDMS微纳敏感结构形状较规则、排列整齐,并且不同形状,不同大小的PDMS微纳敏感结构都具有高度一致性较好,侧面轮廓分明,侧壁角接近90°的特征。
- 章城赵天晨廖宁波
- 关键词：光学光刻聚二甲基硅氧烷
- 用于物联网的新型硅纳米材料高灵敏压力传感器研究
- 郑蓓蓉薛伟王权张淼周晨廖宁波张艳敏张健陶晓东
- 该成果研发用于物联网的高灵敏度压力传感器，完成传感器的理论设计和生产制造，提出采用与CMOS工艺兼容的表面微机械加工工艺，以新型硅纳米薄膜材料作为敏感材料，单面加工工艺，大批量制造高灵敏度压力传感器。研发内容包括：分别用...
- 关键词：
- 关键词：压力传感器
- 一种锂电池SiCO‑Si梯度薄膜电极体系及制备方法
- 本发明公开了一种锂电池SiCO‑Si梯度薄膜电极体系，包括单晶硅基板，单晶硅基板上自下而上依次设有TiN阻挡层、Al薄膜层、SiAlCO薄膜层、SiCO薄膜层、SiO<Sub>1/3</Sub>薄膜层和Si薄膜层。本发明...
- 廖宁波薛伟
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- 一种多孔SiCO基一氧化氮传感器
- 本发明公开了一种多孔SiCO基一氧化氮传感器，包括单晶硅基板，单晶硅基板上依次设有SiO<Sub>2</Sub>薄膜层、SiBCO薄膜层和SiCO薄膜层，SiCO薄膜层上经SiAlCO薄膜层设有电极。本发明是通过气敏特性...
- 廖宁波郭志张淼
- 一种多孔硅碳氧陶瓷的建模方法
- 本发明公开了一种多孔硅碳氧陶瓷的建模方法，其特征在于，按下述步骤进行：(1)采用Si<Sub>4</Sub>CO<Sub>6</Sub>作为无自由碳的玻璃态配比，并增加碳的含量获得具有自由碳的SiCO结构，表示为Si<S...
- 廖宁波
- 文献传递
- 一种预测SiCO负极材料性能模拟方法
- 本发明公开了一种预测SiCO负极材料性能模拟方法，其特征在于，按下述步骤进行：①基于原子替换法建立低碳含量SiCO结构初始模型；②基于模拟退火法建立含有自由碳的高碳含量SiCO结构初始模型；③确定SiCO与锂的原子比例进...
- 廖宁波
- 文献传递
- 一种高强度多层膜系光电玻璃
- 本实用新型公开了一种高强度多层膜系光电玻璃，构成包括玻璃基片（1），在玻璃基片（1）上依次设有二氧化硅层（2）、氧化铝薄膜层（3）和AZO薄膜层（4）。本实用新型在氧化铝薄膜层和AZO薄膜层的共同作用下，实现对入射太阳光...
- 陈鹏飞廖宁波
- 文献传递
