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宋汉斌

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：上海大学通信与信息工程学院上海市电子物理研究所更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇半导体
  • 1篇导体
  • 1篇电位
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇设计原理
  • 1篇终端结构
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微加工
  • 1篇连杆
  • 1篇半导体物理
  • 1篇P-N结
  • 1篇PN结

机构

  • 3篇上海大学

作者

  • 3篇宋汉斌
  • 1篇董鸣
  • 1篇李伟

传媒

  • 2篇上海大学学报...
  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1996
  • 1篇1995
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
多晶硅连杆和平台系统的微加工被引量：1
1995年
本文介绍了四连杆系统、三自由度平台等微机械组件的设计和研制．叙述了微加工工艺过程，提出了工艺难点和解决方法．据实际实验尺寸分别对四连杆和平台的运动特性作了数值模拟．该平台占地约０．２ｍｍ２，最大工作区域为０．０２ｍｍ２．研制成的四连杆、平台及其它几种尺寸的单连杆均可在外力拨动下灵活地旋转或迁移．
陆景唐季超仁李伟宋汉斌董鸣
关键词：微加工多晶硅连杆微电子机械系统
场限制环的安全环距设计原理被引量：1
1996年
场限制环作为一种可与许多器件工艺相容的ＰＮ结终端得到了广泛应用。存在的一个问题是其效果随结构参数有过分敏感的变化。文中认为：作为设计指导思想的最佳环距原则是加重这一敏感性的重要原因。作为改进，提出了新的安全环距设计原则。按安全环距原则设计，除可明显缓解终端效果随结构参数敏感变化的问题外，还可有效地提高在同样结构和工艺条件下所制成器件的额定电压。
季超仁陆景唐宋汉斌董鸣
关键词：PN结半导体物理
利用环电位来研究器件结构参数
1998年
器件终端处的界面电荷密度是一个影响场限制环终端增压效果的敏感参数，尚无准确的测量方法．本文用数值模拟方法算得了环电位的理论曲线；用实验测量了环电位实验曲线．在此基础上提出了一种通过拟合理论和实验环电位变化曲线而得到实际器件终端处界面电荷密度的方法，可成为考核设计、指导工艺的有用手段．
宋汉斌陆景唐董鸣季超仁
关键词：半导体P-N结终端结构
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