叶井飞
- 作品数:19 被引量:34H指数:3
- 供职机构:南京理工大学更多>>
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- 相关领域:电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 变倍比近红外无焦激光扩束系统设计
- 闪电现象是一种全球性的自然气候现象,闪电活动与雷暴雨发生有密切联系,通过对地球局部区域或全球区域闪电活动规律的监控,可以获得对流层降雨过程的相关信息,探测闪电分布及其活动规律,进行气象观察和预测,对人类的生产生活带来极大...
- 叶井飞高志山叶海水刘晓莉成晓强王帅
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- 基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
- 本发明公开了一种基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法,通过在双波长斐索干涉仪装置中,先后采集参考光波与待测平面镜前表面的反射光波的干涉图,通过第一步移相测量得到波长λ<Sub>1</Sub>和λ<Sub>2<...
- 高志山王凯亮成金龙王伟王帅袁群杨忠明朱丹窦建泰叶井飞
- 文献传递
- 双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置
- 本发明公开了一种双焦波带片干涉显微检测平面掩膜缺陷的装置,共光轴依次布置光源、孔径光阑、正透镜、半透半反分光镜、双焦波带片、待测平面掩膜,光线经孔径光阑形成点光源,再经正透镜形成平行光,平行光穿过半透半反分光镜,入射到双...
- 高志山窦健泰王若言宋华清杨忠明王帅成金龙王凯亮王伟叶井飞袁群
- 文献传递
- 多棱镜分光系统的多光束光轴平行度校准被引量:1
- 2012年
- 闪电场景模拟系统中需要不同强度分布的光轴平行的多路光束,多棱镜分光系统能够实现平行光束增宽和强度分布调制。为获取彼此平行的多路光束,采用五棱镜扫描法完成等间隔分布的四棱镜分光系统的多光束光轴平行度检测,通过CCD采集返回的与特定光轴位置信息有关的光点光强分布,并编制相关的软件计算质心偏差,为分光棱镜的定位装校提供直观准确的反馈信息,装校装置具有简单方便的特点。装校后的四棱镜分光系统在x、y、z 3个方向上的光轴匹配精度分别小于3′、4′和4.5′,4束平行光的光强之比约为8∶4∶2∶1。进一步提高CCD分辨率和增大成像物镜L的焦距后,光轴的匹配精度可以达到秒量级。
- 叶海水秦震宇高志山王帅叶井飞杜洋
- 关键词:光学系统
- 基于针孔式点衍射干涉仪球面镜曲率半径测量方法
- 本发明公开了一种基于针孔式点衍射干涉仪的球面镜曲率半径测量装置及方法。本发明通过在针孔式点衍射干涉仪装置中,先后于干涉腔中插入两块不同厚度的平行平板,来实现两次定量的离焦。当测试光路中不放置平行平板时,通过移相测量得到波...
- 高志山田雪杨忠明王凯亮王帅成金龙叶井飞袁群
- 文献传递
- 基于Zernike多项式和径向基函数的自由曲面重构方法被引量:20
- 2014年
- 对于梯度变化较大的光学自由曲面,采用模式化方法对光学面整体重构,其重构精度受到限制,无法满足要求,而且曲面局部特性无法精确表征。针对以上问题提出了基于Zernike多项式和径向基函数的自由曲面重构方法,提高自由曲面的重构精度。将整个自由曲面分解为多个圆形子区域,在各个圆形子域中采用Zernike多项式作为基函数进行曲面局部拟合,然后利用径向基函数形成整个自由曲面。通过数值实验对5种不同类型的曲面进行重构分析,实验结果表明,自由曲面重构精度优于纳米量级,验证了所提重构方法的适应性和高精度,在现代光学系统制造和检测中具有一定的应用前景,同时对自由曲面重构中的一些关键问题进行了讨论分析。
- 叶井飞高志山刘晓莉王伟张聪旸
- 关键词:光学设计光学自由曲面ZERNIKE多项式径向基函数曲面重构
- 用于极紫外光刻掩模缺陷探测的双焦斜入射干涉显微装置
- 本发明公开了一种用于极紫外光刻掩模缺陷探测的双焦斜入射干涉显微装置,包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维掩模调整扫描工作台、五维掩模调整扫描工作台控制器、双焦波带片斜入射干...
- 高志山王帅袁群成金龙叶井飞
- 文献传递
- 近红外连续变焦望远光学系统设计
- 在闪电场景模拟中,设计并研制了近红外连续变焦望远光学系统,用于对不同光斑尺寸闪电的模拟.运用变焦光学系统设计原理和光学设计软件得到系统的光学结构参数,并对系统整体像质进行分析评价.该系统是无焦光学系统,其中心工作波长为7...
- 叶井飞高志山叶海水刘晓莉成晓强王帅谢佳辰
- 关键词:光学工程连续变焦
- 用于极紫外光刻掩模缺陷探测的双焦斜入射干涉显微装置
- 本发明公开了一种用于极紫外光刻掩模缺陷探测的双焦斜入射干涉显微装置,包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维掩模调整扫描工作台、五维掩模调整扫描工作台控制器、双焦波带片斜入射干...
- 高志山王帅袁群成金龙叶井飞
- 光学自由曲面的表征方法与技术研究
- 随着现代光学精密制造和检测技术的发展与提高,自由曲面光学元件的加工和使用逐步成为现实。光学自由曲面具有非旋转对称性,以其丰富的自由度和较强的像差校正能力,使光学系统向着小型化、轻量型、大视场、小F数和高性能等高要求方向发...
- 叶井飞
- 关键词:光学自由曲面径向基函数