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刘金全

作品数：40 被引量：15H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：文化科学机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 35篇专利
  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 4篇机械工程
  • 4篇文化科学
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 19篇加速度
  • 14篇加速度计
  • 9篇刻蚀
  • 6篇重力梯度
  • 6篇重力梯度仪
  • 6篇MEMS
  • 5篇等离子体
  • 5篇速度传感器
  • 5篇加速度传感器
  • 5篇封装
  • 5篇感器
  • 5篇感应耦合
  • 5篇感应耦合等离...
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 5篇大动态
  • 4篇振子
  • 4篇刻蚀深度
  • 4篇极板
  • 4篇硅片

机构

  • 40篇华中科技大学

作者

  • 40篇刘金全
  • 37篇涂良成
  • 21篇范继
  • 14篇伍文杰
  • 5篇张文婷
  • 5篇王超
  • 4篇罗俊
  • 4篇唐世豪
  • 3篇朱涛
  • 2篇李智
  • 2篇陈鹏
  • 2篇喻立
  • 2篇刘丹丹
  • 2篇周杨
  • 2篇姜涛
  • 2篇黄祥青
  • 1篇王志伟
  • 1篇周泽兵
  • 1篇王秋
  • 1篇张少林

传媒

  • 1篇物理实验
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇2014年中...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 4篇2022
  • 3篇2021
  • 4篇2020
  • 5篇2019
  • 6篇2018
  • 3篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
  • 6篇2014
  • 1篇2011
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪
本发明公开了一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元；前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量，后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量，第...
涂良成唐世豪范继刘金全
一种加速度传感器
本发明公开一种加速度传感器，包括：敏感质量、弹簧结构、定电极极板、动电极极板以及外部封装结构；所述敏感质量位于所述外部封装结构的内部，所述弹簧结构将所述敏感质量与外部封装结构连接，所述敏感质量在所述弹簧结构的约束下受外界...
胡宸源涂良成姜涛刘骅锋刘金全
文献传递
一种通过旋转调制法测量加速度计高阶项数系数的方法
本发明提供了一种通过旋转调制法测量加速度计高阶项系数的方法，包括：(1)使加速度计以第一旋转频率匀速转动并采集加速度计的输出作为第一输出；通过改变旋转频率使加速度计以第二旋转频率匀速转动并采集加速度计的输出作为第二输出，...
刘金全张梦琪涂良成邓忠光陈鹏胡宸源
文献传递
一种基于双频激励方式测量加速度计非线性的方法及装置
本发明提供一种基于双频激励方式测量加速度计非线性的方法及装置，属于加速度计测试技术领域，方法包括以下步骤：确定待测加速度计所在振动装置的振动转动耦合系数；振动转动耦合系数为振动装置受到振动激励信号作用时振动装置台面倾斜角...
刘金全李智周杨
一种力平衡式传感器标度因子的调节方法
本发明公开了一种力平衡式传感器标度因子调节方法，力平衡式传感器包括机械部分、传感计算部分和反馈调节部分；在反馈调节部分中加入一个与输出成比例的调节电压或电流，通过改变该比例因子从而改变标度因子。反馈调节部分包括：第一加法...
涂良成黄祥青范继刘金全
文献传递
微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线；在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料，刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层；在绝缘隔...
范继涂良成刘金全王超
一种三维微凸点的制备方法
本发明公开一种三维微凸点的制备方法，包括：在基底上图像化多个金属焊盘；在基底上沉积电镀时所需的导电层，利用刻蚀溶液去除各个金属焊盘上待电镀区域的导电层，旋涂光刻胶，在各个金属焊盘上方待电镀区域形成微尺寸的开口光刻胶掩模，...
范继魏晓莉刘金全涂良成刘骅锋饶康
一种测量加速度计模型参数磁矢量灵敏度的装置及方法
本发明公开了一种测量加速度计模型参数磁矢量灵敏度的装置及方法，装置包括：固定连接的加速度产生模块和磁场发生模块，加速度产生模块给加速度计提供可变且可定量的加速度输入；磁场发生模块给加速度计提供可变且稳定的磁场环境；当使用...
张梦琪刘金全涂良成
一种重力加速度传感器
本发明公开一种重力加速度传感器，包括：弹簧质量块结构，位移传感组件，上盖板结构以及下盖板结构；弹簧质量块结构包括：外框架、检验质量以及弹簧结构，检验质量在弹簧结构的约束下受外界力的作用而运动；位移传感组件包括：驱动周期阵...
刘骅锋涂良成徐小超饶康刘金全
文献传递
一种封装间距可高精度控制的MEMS封装结构及封装方法
本发明公开一种封装间距可高精度控制的MEMS封装结构及封装方法，包括：硅基底、限位装置、第一封装环、上盖帽以及第二封装环，限位装置的高度大于第一封装环和第二封装环的高度之和；限位装置和第一封装环设置在硅基底上，第二封装环...
范继伍文杰涂良成刘金全邱文瑞
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