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丁海涛
作品数:
16
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
生物学
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合作作者
闫桂珍
北京大学微电子学研究院
杨振川
北京大学微电子学研究院
赵前程
北京大学
郭中洋
北京大学
林龙涛
北京大学
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2007
1篇
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1篇
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一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法,它包括如下步骤:对盖帽玻璃片进行打孔,但不打通;在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金,并进行光刻和腐蚀,形成掩膜;用氢氟酸腐蚀玻璃腔体,同时将未穿通的引...
丁海涛
杨振川
郭中洋
迟晓珠
赵前程
郝一龙
闫桂珍
文献传递
一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺,它包括衬底、一组以上的驱动电容、两检测质量块、驱动折叠梁、框架、一组以上的检测电容、检测折叠梁和锚点;每组驱动电容的一侧与相邻的检测质量块连接,检测质量块通过驱...
郭中洋
杨振川
赵前程
林龙涛
刘雪松
丁海涛
崔健
闫桂珍
文献传递
反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法
被引量:2
2010年
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法,尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀.通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属,以加强刻蚀过程中产生的热量的消散,降低了硅结构的温度.用有限元仿真和实验分别验证了该方法的有效性.同时,金属层也抑制了刻蚀离子所带电荷在绝缘介质层上的积累,防止了自建电场的产生,抑制了notching效应.该方法通过扫描电子显微镜的测量也得到了实验验证.加工了一个SOI梳齿驱动器,检验了本方法的有效性和适应性.
丁海涛
杨振川
闫桂珍
关键词:
反应离子深刻蚀
热传递
一种微电子机械系统圆片级真空封装及倒装焊方法
本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法,它包括如下步骤:对盖帽玻璃片进行打孔,但不打通;在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨(或铬)和金,并进行光刻和腐蚀,形成掩膜;用氢氟酸腐蚀玻璃腔体,同时将未穿通的引...
丁海涛
杨振川
郭中洋
迟晓珠
赵前程
郝一龙
闫桂珍
文献传递
一种电容式水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺,其特征在于:它包括衬底,锚点,检测折叠梁,框架,驱动折叠梁,检测质量块,驱动梳齿电容及检测梳齿电容;驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极;锚点,检测折叠梁,框架,...
郭中洋
杨振川
赵前程
林龙涛
刘雪松
丁海涛
崔健
闫桂珍
文献传递
一种电容式水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺,其特征在于:它包括衬底,锚点,检测折叠梁,框架,驱动折叠梁,检测质量块,驱动梳齿电容及检测梳齿电容;驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极;锚点,检测折叠梁,框架,...
郭中洋
杨振川
赵前程
林龙涛
刘雪松
丁海涛
崔健
闫桂珍
文献传递
一种水平轴微机械音叉陀螺
本发明涉及一种水平轴微机械音叉陀螺,它包括衬底,衬底上,固定驱动梳与驱动电极为欧姆接触,且都与衬底固定连接;可动驱动梳的一侧通过驱动折叠梁连接框架,框架通过检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点,另一侧固定连接敏感质量块;敏感...
郭中洋
杨振川
赵前程
林龙涛
刘雪松
丁海涛
崔健
闫桂珍
文献传递
一种微机械锁存开关装置
本发明提供了一种微机械锁存开关装置,由衬底、锚点、触头、挠性梁、检测质量块组成,其中,触头包括:顶触头、动触头和侧触头,所述侧触头分别位于所述动触头的两侧;挠性梁包括:顶触头挠性梁、动触头挠性梁、侧触头挠性梁以及检测挠性...
郭中洋
杨振川
赵前程
林龙涛
丁海涛
闫桂珍
文献传递
基于sigma-delta调制器的闭环检测微机械陀螺研究
论文在充分调研国内外微机械陀螺研究的基础上,对当前国际上比较有代表性的微机械陀螺进行了分类总结,并对实现高精度微机械陀螺的技术途径提出了自己的看法,确定了本文的研究主题和路线--机械结构设计、工艺加工和信号检测技术三个方...
丁海涛
凋亡小体和纤连蛋白在诱导血管钙化中的作用
丁海涛
关键词:
血管钙化
平滑肌细胞
凋亡小体
纤连蛋白
信号传导通路
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