黄德文
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 高重复率小型准分子激光开关电源设计被引量：6
- 2009年
- 设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300Hz。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。
- 游利兵梁勖黄德文余吟山
- 关键词：准分子激光开关电源串联谐振高重复率
- 单片机控制的准分子专用组合电磁阀门被引量：2
- 2010年
- 介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动配气。整体结构紧凑、性能稳定,简化了充配气操作,还可以用它实现自动微调激光气体成分,达到延长工作气体寿命的目的。
- 梁勖游利兵黄德文
- 关键词：准分子配气PIC
- 脉冲升压式准分子激光电源研究被引量：3
- 2009年
- 针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1,高压充电时间越短。介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法。实现了对高压电容50μs内的快充电。
- 黄德文游利兵梁勖余吟山
- 关键词：激光技术拉普拉斯变换高重复率
