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二(乙酰丙酮根)合铜(Ⅱ)的热分解动力学研究被引量：3: 1992年; 金属有机化合物气相化学沉积(OMCVD)形成铜膜常用的母体化合物是铜(II)的β-二酮类配合物.本文首次采用CW二氧化碳激光研究二(乙酰丙酮根)合铜(II)[Cu(acac)_2]在石英基片上沉积铜膜过程的动力学.沉积速率由探测光束(He-Ne激光)通过铜膜时透过率的衰减进行实时测量.实验表明,二氧化碳激光辐照功率对沉积速率有明显的影响,并存在一阈值.在较低功率区域内,Cu(acac)_2在表面上热分解反应是沉积速率控制步骤.由Arrhenius关系已求得表面热分解反应的表观活化能为181 kJ/mol.在较高功率的区域内,沉积速率趋于恒定,可以认为此时气相Cu(acac)_2分子向表面扩散的传质过程是沉积速率控制步骤.沉积速率随外加惰性气体压力增加而下降,并测得与Cu(acac)_2蒸气压力之间呈一级反应关系.对Cu(acac)_2热分解机理作了讨论.; 连志睿金忠秦启宗; 关键词：热分解铜薄膜 OMCVD

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金忠