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郭剑

作品数：18 被引量：19H指数：2
供职机构：西南交通大学更多>>
相关领域：文化科学交通运输工程建筑科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 3篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 10篇纳米
  • 8篇单晶
  • 8篇刻蚀
  • 7篇选择性刻蚀
  • 6篇探针
  • 5篇微纳米加工
  • 4篇单晶片
  • 4篇点接触
  • 4篇微球
  • 4篇临界载荷
  • 4篇晶片
  • 4篇硅片
  • 3篇单晶硅
  • 3篇扫描探针显微...
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅膜
  • 2篇压印
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇织构化
  • 2篇砷化镓

机构

  • 18篇西南交通大学

作者

  • 18篇郭剑
  • 14篇余丙军
  • 14篇钱林茂
  • 12篇宋晨飞
  • 6篇周仲荣
  • 5篇陈磊
  • 2篇王晓东
  • 2篇唐鹏
  • 1篇徐乐

传媒

  • 1篇高校后勤研究

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
高等学校实验教学质量评价体系的探索与实践
创新型国家建设呼唤创新型人才，高校作为人才培养的摇篮，肩负着重大的历史使命。高校实验教学作为人才培养中的重要环节，必须得到应有的重视，随着《国家中长期教育改革和发展规划纲要(2010-2020年)》的制定与实施，实验教学...
郭剑
关键词：实验教学质量
文献传递
基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法
一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiO<Sub>x</Sub>薄层，然后将生长有SiO<Sub>x</Sub...
钱林茂郭剑陈磊余丙军宋晨飞
文献传递
基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法
一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiO<Sub>x</Sub>薄层，然后将生长有SiO<Sub>x</Sub...
钱林茂郭剑陈磊余丙军宋晨飞
文献传递
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，主要应用于玻璃表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是：将尖端为球状的探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷...
钱林茂宋晨飞周仲荣余丙军陈磊郭剑
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高速铁路下承式结合桥面钢桁梁桥静动力计算分析研究
论文以福厦线某80m高速铁路下承式结合桥面钢桁梁桥为工程背景，依据施工图纸资料，采用大型有限元计算软件MIDAS/CIVIL建立基于梁单元与板单元的全桥空间有限元模型，探讨下承式结合桥面钢桁梁桥的静力、动力和稳定等几个方...
郭剑
关键词：高速铁路钢桁梁桥地震响应有限元模拟
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一种多点接触模式下的大面积纳米压印硅模具加工方法
一种多点接触模式下的大面积纳米压印硅模具加工方法，它将硅(100)单晶片置于多微球的多点接触板垂直下方位置，再使硅片与多点接触板两者垂直相对运动至发生接触，并达到一定接触载荷F；使多点接触板和硅片按照既定轨迹相对运动，进...
钱林茂宋晨飞吴治江郭剑余丙军周仲荣
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基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法，主要应用于砷化镓表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是：将金刚石探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，将清洗过的砷化镓固定在样品台上，启动设备，给探针施...
钱林茂唐鹏宋晨飞余丙军郭剑
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摩擦诱导纳米结构的溶液刻蚀研究
随着纳米科技的迅速发展,纳米加工技术已经成为支撑纳米科技走向应用的关键因素。扫描探针技术具有加工成本低、精度高等优点,在微纳米加工领域具有广阔的应用前景。近年来,基于探针机械刻划及溶液刻蚀的无掩膜加工工艺的研究被越来越多...
郭剑余丙军钱林茂
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基于摩擦诱导选择性刻蚀的氮化硅膜/硅微纳米加工方法
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的氮化硅膜/硅微纳米加工方法，其操作是：将尖端为球状的探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，将氮化硅膜/硅固定在样品台上，给探针施加不低于临界载荷的法向载荷，并使探针沿着设定的轨迹...
钱林茂郭剑余丙军王晓东宋晨飞
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一种单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法
一种单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法，其步骤是：A、在化学机械抛光法抛光后的单晶硅晶圆上切取出单晶硅样品，对其使用原子力显微镜进行扫描，得到单晶硅样品表面的三维形貌，并测出其中的凹陷深度；B、将单晶硅样品放置于质量分数...
钱林茂徐乐余丙军郭剑陈磊
文献传递
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