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詹少彬

作品数：2 被引量：7H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇高频感应
  • 2篇MOCVD
  • 1篇导体
  • 1篇高频感应加热
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇詹少彬
  • 1篇王晟
  • 1篇罗小兵
  • 1篇刘胜
  • 1篇王卫星
  • 1篇甘志银
  • 1篇徐天明

传媒

  • 1篇第十届全国M...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
MOCVD加热方式对比研究
本文分析了现有MOCVD设备的加热系统,对电阻丝加热和高频感应加热进行了对比研究。分别对两种加热方式进行了结构设计分析,探讨了各自的加热特点。石墨基座表面的温度均匀性决定于各自的导线布置,石墨基座与加热器之间必须有高平行...
罗小兵詹少彬徐天明王晟王卫星甘志银刘胜
关键词：半导体薄膜MOCVD高频感应
文献传递
MOCVD加热系统研究
金属有机物化学气相沉积/(MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition/)是业界生产半导体光电器件和微波器件的关键设备。加热系统是MOCVD系统的重要组成部分。每个新颖的反...
詹少彬
关键词：MOCVD高频感应加热
文献传递
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