程正喜
- 作品数：58 被引量：38H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市浦江人才计划项目中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信建筑科学交通运输工程电气工程更多>>
- 一种采用活动支撑的微镜结构
- 本实用新型公开了一种采用活动支撑的微镜结构，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间...
- 程正喜徐鹤靓陈永平马斌
- 薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法
- 本发明公开了一种薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法，通过划片机在微桥阵列背面划出深槽，达到快速去除牺牲层目的。本发明工艺方法大大减少牺牲层的释放时间，避免采用常规牺牲层释放过程因时间过程太长出现的问题，进一步完善薄膜转移...
- 程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
- 文献传递
- 混成式三维神经元微探针阵列的制备
- 2013年
- 提出了一种混成式三维神经元探针阵列结构和相应的制备流程。制备流程主要包括倒焊互连工艺和多刀片切割工艺,采用倒焊工艺将厚硅片直接倒焊到读出电路上,采用多刀片切割工艺直接将硅片切割成硅针阵列。该制备流程不包含高温工艺和硅腐蚀工艺,不损伤电路,实现了硅针阵列与电路直接集成。通过集成电路可以简化接口,降低引脚数量,制备的神经元探针阵列的规模可以不受引线口数量限制,可以覆盖一个完整的脑功能区。制作了规模为10×10的神经元探针阵列,探针的中心距为400μm。探针的底座高度为30μm,底座宽度为360μm,底座之间的空隙为40μm。探针宽度为100μm,高度为1 470μm。针尖的角度为25°。初步测试结果表明探针阵列是满足神经元信号探测。
- 程正喜庄佚溦张学敏袁红辉
- 关键词：微机械加工
- 基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法
- 本发明公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚...
- 程正喜徐鹤靓陈永平马斌
- 一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法。聚酰亚胺薄膜由光敏型聚酰亚胺树脂旋涂在基底表面，经亚胺化后获得；亚胺化使聚酰亚胺薄膜与基底形成良好粘附；采用光刻、显影工艺使聚酰亚胺在像元表面成型；疏松化通过腐蚀并去...
- 翟厚明马斌程正喜张学敏
- 文献传递
- 微镜结构和形成方法、微镜阵列以及探测器
- 本发明公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段导电梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段导电梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段导电梁的...
- 程正喜徐鹤靓陈永平
- 文献传递
- 一种高填充因子的MEMS微镜
- 本实用新型公开了一种高填充因子的MEMS微镜，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于...
- 程正喜徐鹤靓陈永平马斌
- 快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法
- 本发明公开了一种快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法，本发明通过先腐蚀牺牲层来增大衬底和腐蚀剂的接触面积，提高衬底的腐蚀速率，来快速架空所需的薄膜，特别是面积较大的薄膜，例如边长为毫米级的薄膜。该方法可用于快速释放红...
- 程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
- 文献传递
- 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
- 本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层，采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化；采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层，使牺牲层成形；在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后，将基底置于干冰液体...
- 翟厚明马斌程正喜张学敏
- 一种微镜结构和制作方法、微镜阵列及探测器
- 本发明公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支...
- 程正喜徐鹤靓陈永平
