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申屠棠

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中昊光明化工研究设计院有限公司更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 1篇电子气体
  • 1篇制取
  • 1篇气体
  • 1篇工业气体
  • 1篇高纯
  • 1篇高纯氢
  • 1篇氢
  • 1篇MO源
  • 1篇纯度
  • 1篇纯氢
  • 1篇催化
  • 1篇催化法

机构

  • 2篇中昊光明化工...

作者

  • 2篇申屠棠
  • 1篇隋东平
  • 1篇梁国仑

传媒

  • 1篇化工新型材料
  • 1篇低温与特气

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1991
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
高压催化法制取高纯氢的研究
1996年
概述了高压催化法制取高纯氢的研究及其在工业中的应用与发展前景．以工业氢为原料，选用高压，提高空速，有效地减少了催化剂用量．从而设各体积小．装置紧凑，占地面积少，产品可直接充入用户钢瓶．同时，避免了产品被管道污染．该装置通过几年的使用证明，效果良好，并为设计提供了可靠的依据，其产品远销省内外，是电子工业及集成电路用的高纯氢气源，也是企事业科研院校实验室常用的理想气源．
隋东平申屠棠
关键词：氢催化
国内外电子气体技术进展
1991年
本文综述了国外兆位集成电路制造用气体品种与纯度标准、MO源材料的开发、电子气体配套器件、电子气体技术进展。指出国内尚未开发出ULSI级气体,在纯化技术、气瓶及管线内表面处理技术、分析检测与安全技术特别是供气技术上与国外水平有一定差距。
梁国仑申屠棠
关键词：电子气体MO源工业气体
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