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王淑珍

作品数：13 被引量：5H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生

主题

  • 8篇光栅
  • 7篇测量范围
  • 6篇位移传感器
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇白光干涉
  • 4篇激光
  • 4篇光电
  • 4篇光电接收器
  • 3篇探针
  • 3篇透射
  • 3篇透射光
  • 3篇透射光栅
  • 3篇平面反射镜
  • 3篇相位光栅
  • 3篇量程
  • 3篇轮廓尺寸
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米探针

机构

  • 13篇华中科技大学

作者

  • 13篇王淑珍
  • 11篇谢铁邦
  • 11篇常素萍
  • 8篇王生怀
  • 2篇杨波
  • 2篇陈育荣
  • 2篇刘晓军
  • 2篇潘文

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2008
  • 2篇2007
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究
随着超精密加工技术、半导体工业、MEMS和NEMS 技术的发展，在纳米尺度内进行超精密表面形貌测量的需求越来越迫切。超精密表面形貌测量仪器必须具备垂直、水平方向上的高分辨率和较大的测量范围。文中系统论述了纵、横向分辨率均...
王淑珍
一种白光干涉光学轮廓仪
本发明公开了一种白光干涉光学轮廓仪，包括垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置、白光干涉位移传感器和万能工作台。白光干涉位移传感器固定在驱动及位移计量装置上，驱动及位移计量装置固定在立柱上，立柱固定在隔振台面上；万能工作台放...
王淑珍常素萍王生怀谢铁邦刘晓军
文献传递
一种激光相位光栅干涉位移传感器
一种激光相位光栅干涉位移传感器，包括半导体激光器、平行弹簧、透射光栅、±1级平面反射镜、分光棱镜、干涉光平面反射镜、扩束透镜、光电接收器和信号处理电路。激光器和透射光栅分别固定于平行弹簧的前、后支架；连杆与平行弹簧的后支...
王生怀王淑珍常素萍谢铁邦
文献传递
一种激光相位光栅干涉位移传感器
一种激光相位光栅干涉位移传感器，包括半导体激光器、平行弹簧、透射光栅、±1级平面反射镜、分光棱镜、干涉光平面反射镜、扩束透镜、光电接收器和信号处理电路。激光器和透射光栅分别固定于平行弹簧的前、后支架；连杆与平行弹簧的后支...
王生怀王淑珍常素萍谢铁邦
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一种基于显微白光干涉的纳米探针装置
一种基于显微白光干涉的纳米探针装置，包括干涉显微镜主体、参考物镜、反射镜、测量物镜、微悬臂探针和CCD探测器。干涉显微镜主体内部的白光经过分光后，一部分经过测量物镜会聚到微悬臂探针针尖顶部的反射镜上并被反射，进入干涉显微...
王生怀王淑珍谢铁邦陈育荣常素萍潘文杨波
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一种基于激光显微干涉的多功能测量装置
本发明公开了激光显微干涉多功能测量装置，该测量装置由激光显微干涉原理的位移测量装置、触针位移检测装置及光电接收器组成。从半导体激光器发出的光，经透镜、孔径光栏、视场光栏后，再经透镜后变成一束平行光，分光棱镜将其分成两束，...
王淑珍王生怀常素萍谢铁邦
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一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器
本发明公开了一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器。整体切割平行弹簧由一块弹簧钢板切割而成的机架和平行弹簧二部分构成，激光器位于机架上；标尺光栅固定在平行弹簧的端部；三个光栅相互平行；连接杆与标尺光栅连接，并通过铰链...
王淑珍常素萍谢铁邦
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一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器
本发明公开了一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器。整体切割平行弹簧由一块弹簧钢板切割而成的机架和平行弹簧二部分构成，激光器位于机架上；标尺光栅固定在平行弹簧的端部；三个光栅相互平行；连接杆与标尺光栅连接，并通过铰链...
王淑珍常素萍谢铁邦
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一种激光相位光栅干涉位移传感器
一种激光相位光栅干涉位移传感器，包括半导体激光器、平行弹簧、透射光栅、±1级平面反射镜、分光棱镜、干涉光平面反射镜、扩束透镜、光电接收器和信号处理电路。激光器和透射光栅分别固定于平行弹簧的前、后支架；连杆与平行弹簧的后支...
王生怀王淑珍常素萍谢铁邦
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一种基于显微白光干涉的纳米探针装置
一种基于显微白光干涉的纳米探针装置，包括干涉显微镜主体、参考物镜、反射镜、测量物镜、微悬臂探针和CCD探测器。干涉显微镜主体内部的白光经过分光后，一部分经过测量物镜会聚到微悬臂探针针尖顶部的反射镜上并被反射，进入干涉显微...
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