王晓强
- 作品数：35 被引量：29H指数：4
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术文化科学更多>>
- 一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法
- 本发明公开了一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，特别适用于超光滑表面古典法抛光用的微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选，具体步骤为：将抛光粉和高纯去离子水放入洁净容器中，通入洁净气体混合5～8分...
- 王占山沈正祥王晓强徐旭东马彬
- 红外自由曲面棱镜的高精度补偿加工方法
- 2024年
- 为实现自由曲面棱镜的高精度制造,首先分析加工误差对自由曲面棱镜的成像性能影响,根据误差分析设计专用夹具,用于控制各曲面加工的中心位置。然后,提出一种基于在位与离线检测技术相结合的自由曲面棱镜高精度补偿车削加工方法,用以监测在加工过程中各阶段的定位误差量,并将误差量反馈于车削的补偿修正,这种方法极大地提升了自由曲面棱镜的加工精度。最后,对自由曲面棱镜台阶面和自由曲面棱镜分别进行了角度误差分析和成像性能检测,得到自由曲面棱镜台阶面的最大角度加工误差为0.03°,自由曲面棱镜在全视场实际成像效果清晰,证明了所提出的补偿加工方法的精度和可行性。
- 刘晓天余俊王晓强何春伶王一凡文骁王东方王占山
- 关键词：光学设计公差分析
- 一种自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法
- 本发明涉及一种自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法，该方法属于光学器件加工领域，主要针对常规的超精密光学器件制作技术要么是加工效率不高，要么是其表面粗糙度控制的不够低，难以有效地平滑表面微结构。自由空间传输的近场...
- 沈正祥孙晓雁徐旭东王晓强马彬王占山
- 文献传递
- 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜被引量：4
- 2009年
- 太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
- 白亮朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜磁控溅射极紫外反射率
- 一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法
- 本发明涉及一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法。所述检测装置包括：二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，具体步骤为：将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；调节二维平移台到达指定...
- 沈正祥徐旭东孙晓雁王晓强马彬程鑫彬王占山
- 文献传递
- Mo/Si多层膜表面保护层设计
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜反射率
- 文献传递
- 一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法
- 本发明公开了一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法，特别适用于古典法抛光超光滑表面用氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的制备，具体步骤为：将抛光粉与适量纯水放入洁净容器中混合；用磁力搅拌器搅拌溶液5～10分钟并使用频率40...
- 沈正祥王占山王晓强张玲马彬
- 文献传递
- Mo/Si多层膜表面保护层设计被引量：3
- 2009年
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在13.36nm波长,膜对数为50的Mo/Si多层膜10度入射的理论反射率为74.47%;当添加厚度为2.3nm的Ru作为表面保护层,对应多层膜最上层Si的优化厚度为3.93nm,其理论反射率为75.20%.设计结果表明,通过优化设计表面保护层,可以提高多层膜稳定性,改善多层膜性能.
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜反射率
- 一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法
- 本发明涉及一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法。子所述检测装置包括：二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，具体步骤为：将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；调节二维平移台到达指定目标分...
- 沈正祥徐旭东孙晓雁王晓强马彬程鑫彬王占山
- 文献传递
- 在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
- 2011年
- 研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双功能多层膜的反射特性。结果表明:制备出的双功能膜性能与设计相符,在入射角13,°19.5 nm处的反射率达到33.3%,接近传统的19.5 nm周期高反膜的反射率,并且在30.4 nm附近将反射率由1.1%降到9.6×10-4。
- 蒋励王晓强谭默言黄秋实李浩川周斯卡朱京涛王占山
- 关键词：双功能多层膜极紫外直流磁控溅射
