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梁晋涛
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西南科技大学
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合作作者
杨涛
西南科技大学
谭先吉
西南科技大学
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刘婷婷
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周玲
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1篇
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液态金属微流体机械惯性导电开关
本发明公开了一种液态金属微流体机械惯性开关,包括敏感单元永磁微机械惯性开关和致动单元液态金属微流体静电开关。液态金属微流体机械惯性开关采用微加工工艺制作,采用激光后工艺修调调整开关精度和阈值,采用环氧键合或局部加热键合的...
杨涛
梁晋涛
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冯月晖
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硅基微型电渗泵三维阵列
本实用新型公开了一种硅基微型电渗泵三维阵列。包括单个微泵、微泵二维阵列、三维阵列的结构。二维阵列包括由硅基构组成的框体,其特征在于,在硅基上干法蚀刻技术刻蚀出的高宽比二维阵列微槽构成电渗流微通道以及进出水口。然后在玻璃盖...
杨涛
刘婷婷
梁晋涛
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高杨
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孟凡超
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