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梁晋涛

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:西南科技大学更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 1篇电渗
  • 1篇电渗泵
  • 1篇电渗流
  • 1篇液态
  • 1篇液态金属
  • 1篇阵列
  • 1篇蚀刻
  • 1篇蚀刻技术
  • 1篇微槽
  • 1篇微机械
  • 1篇微加工
  • 1篇微流体
  • 1篇流体机械
  • 1篇惯性开关
  • 1篇硅基
  • 1篇二维阵列

机构

  • 2篇西南科技大学

作者

  • 2篇韩宾
  • 2篇周玲
  • 2篇梁晋涛
  • 2篇刘婷婷
  • 2篇冯月晖
  • 2篇谭先吉
  • 2篇杨涛
  • 1篇孟凡超
  • 1篇张珂
  • 1篇白竹川
  • 1篇高杨
  • 1篇李磊民
  • 1篇陈花卫

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
液态金属微流体机械惯性导电开关
本发明公开了一种液态金属微流体机械惯性开关,包括敏感单元永磁微机械惯性开关和致动单元液态金属微流体静电开关。液态金属微流体机械惯性开关采用微加工工艺制作,采用激光后工艺修调调整开关精度和阈值,采用环氧键合或局部加热键合的...
杨涛梁晋涛韩宾刘婷婷李磊民谭先吉冯月晖周玲陈花卫张珂
文献传递
硅基微型电渗泵三维阵列
本实用新型公开了一种硅基微型电渗泵三维阵列。包括单个微泵、微泵二维阵列、三维阵列的结构。二维阵列包括由硅基构组成的框体,其特征在于,在硅基上干法蚀刻技术刻蚀出的高宽比二维阵列微槽构成电渗流微通道以及进出水口。然后在玻璃盖...
杨涛刘婷婷梁晋涛韩宾高杨谭先吉冯月晖白竹川周玲孟凡超
文献传递
共1页<1>
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