您的位置： 专家智库 > >

杜先锋

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇封装
  • 2篇社会资源
  • 2篇体硅
  • 2篇芯片
  • 2篇芯片级
  • 2篇芯片级封装
  • 2篇革命性
  • 2篇工艺技术
  • 2篇MEMS器件
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇阳极键合
  • 1篇噪声
  • 1篇阵列式
  • 1篇特性分析
  • 1篇微机电系统
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇镜面
  • 1篇刻蚀

机构

  • 5篇北京大学

作者

  • 5篇杜先锋
  • 4篇张大成
  • 4篇李婷
  • 3篇郝一龙
  • 2篇王颖
  • 2篇王阳元
  • 1篇余宏斌
  • 1篇王小宝
  • 1篇于晓梅
  • 1篇阮勇
  • 1篇王玮

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 2篇2003
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
基于硅帽封装的MEMS集成化工艺研究与实现
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术被广泛用来制作微传感器和微执行器等,将传统的器件尺寸带入到了微米纳米的时代;另外,MEMS集成制造技术将制造具有智能(集传感、操...
杜先锋
关键词：微机电系统加速度计
变形镜及其制备方法
本发明提供了一种变形镜及其制备方法，属于变形镜加工制备领域。该变形镜包括镜面单元和控制电极，镜面单元为一硅片，通过刻蚀硅片，镜面单元包括：一薄膜镜面和一带有若干个凸台的背腔，控制电极固定在衬底上，通过阳极键合将镜面单元与...
郝一龙杜先锋张大成余宏斌李婷王玮
文献传递
阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析被引量：4
2003年
在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁 .采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 .选用多晶硅为压阻材料 ,以硅微机械加工技术为基础 ,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备 .通过测量器件的噪声和灵敏度 ,计算出在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽下 ,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为 1nm .
于晓梅张大成李婷王小宝阮勇杜先锋
关键词：悬臂梁噪声灵敏度
体硅MEMS器件集成化方法
本发明涉及一种体硅MEMS器件集成化方法。本方法包含集成电路加工(可在任何集成电路生产线上完成)、MEMS器件结构加工和集成化三部分。将复杂的集成化工艺技术分解为三个独立的工艺部分部分，集成电路加工(可在任何集成电路生产...
张大成李婷杜先锋王颖郝一龙王阳元
文献传递
体硅MEMS器件集成化方法
本发明涉及一种体硅MEMS器件集成化方法。本方法包含集成电路加工(可在任何集成电路生产线上完成)、MEMS器件结构加工和集成化三部分。将复杂的集成化工艺技术分解为三个独立的工艺部分部分，集成电路加工(可在任何集成电路生产...
张大成李婷杜先锋王颖郝一龙王阳元
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0