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杜先锋
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
北京大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李婷
北京大学微电子学研究院
张大成
北京大学微电子学研究院
郝一龙
北京大学
王阳元
北京大学
王颖
北京大学
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灵敏度
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敏度
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镜面
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刻蚀
机构
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北京大学
作者
5篇
杜先锋
4篇
张大成
4篇
李婷
3篇
郝一龙
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王颖
2篇
王阳元
1篇
余宏斌
1篇
王小宝
1篇
于晓梅
1篇
阮勇
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王玮
传媒
1篇
Journa...
年份
2篇
2005
1篇
2004
2篇
2003
共
5
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基于硅帽封装的MEMS集成化工艺研究与实现
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术被广泛用来制作微传感器和微执行器等,将传统的器件尺寸带入到了微米纳米的时代;另外,MEMS集成制造技术将制造具有智能(集传感、操...
杜先锋
关键词:
微机电系统
加速度计
变形镜及其制备方法
本发明提供了一种变形镜及其制备方法,属于变形镜加工制备领域。该变形镜包括镜面单元和控制电极,镜面单元为一硅片,通过刻蚀硅片,镜面单元包括:一薄膜镜面和一带有若干个凸台的背腔,控制电极固定在衬底上,通过阳极键合将镜面单元与...
郝一龙
杜先锋
张大成
余宏斌
李婷
王玮
文献传递
阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析
被引量:4
2003年
在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁 .采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 .选用多晶硅为压阻材料 ,以硅微机械加工技术为基础 ,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备 .通过测量器件的噪声和灵敏度 ,计算出在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽下 ,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为 1nm .
于晓梅
张大成
李婷
王小宝
阮勇
杜先锋
关键词:
悬臂梁
噪声
灵敏度
体硅MEMS器件集成化方法
本发明涉及一种体硅MEMS器件集成化方法。本方法包含集成电路加工(可在任何集成电路生产线上完成)、MEMS器件结构加工和集成化三部分。将复杂的集成化工艺技术分解为三个独立的工艺部分部分,集成电路加工(可在任何集成电路生产...
张大成
李婷
杜先锋
王颖
郝一龙
王阳元
文献传递
体硅MEMS器件集成化方法
本发明涉及一种体硅MEMS器件集成化方法。本方法包含集成电路加工(可在任何集成电路生产线上完成)、MEMS器件结构加工和集成化三部分。将复杂的集成化工艺技术分解为三个独立的工艺部分部分,集成电路加工(可在任何集成电路生产...
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李婷
杜先锋
王颖
郝一龙
王阳元
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