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李中洋

作品数:5 被引量:16H指数:3
供职机构:江苏大学机械工程学院激光技术研究所更多>>
发文基金:江苏省自然科学基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 5篇激光
  • 3篇脉冲
  • 3篇刻蚀
  • 2篇应力
  • 2篇微细
  • 2篇脉冲激光
  • 1篇电场
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学刻蚀
  • 1篇掩模
  • 1篇微加工
  • 1篇微细加工
  • 1篇温度场
  • 1篇纳秒
  • 1篇纳秒激光
  • 1篇纳秒脉冲
  • 1篇激光冲击
  • 1篇激光技术
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 5篇江苏大学
  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 5篇李中洋
  • 5篇张朝阳
  • 4篇毛卫平
  • 2篇秦昌亮
  • 2篇印洁
  • 2篇张长桃
  • 2篇王耀民
  • 1篇蔡明霞
  • 1篇冯钦玉
  • 1篇曾永彬
  • 1篇丁伟

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇物理学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2013
  • 2篇2012
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
脉冲激光与电化学复合的应力刻蚀加工质量研究被引量:7
2013年
脉冲激光电化学复合加工可以有效去除激光辐照区域内的电解产物,提高加工效率,改善加工质量.针对高性能金属材料的微细加工要求,采用脉冲激光电化学复合的应力刻蚀加工方法对铝合金的刻蚀特性进行理论和试验研究.通过比较激光直接刻蚀加工和激光电化学复合加工的特点,应用扫描电子显微镜、光学轮廓仪等检测技术分析了刻蚀区域的形貌特征.根据力学电化学原理,探讨了金属材料微结构加工的应力去除机理.通过加工试验,研究了工艺参数和加工方式对加工质量的影响,采用优化的工艺参数,加工出了质量较好的微结构.试验结果表明,激光电化学复合的连续扫描加工稳定性好,可以有效地降低表面粗糙度,提高加工质量.
张朝阳李中洋秦昌亮印洁张长桃毛卫平冯钦玉
关键词:工艺参数
激光冲击效应下的力学电化学微细刻蚀加工被引量:7
2012年
在所构建的纳秒脉冲激光电化学加工系统中,利用激光辐照和脉冲电化学刻蚀复合的方法对铝合金进行了加工试验,研究了激光穿过溶液作用于物质时产生的力效应和电化学效应对加工质量的影响。试验结果表明:高能脉冲激光透过电解液辐照在工件表面时,激光在电解液中产生的冲击波力效应和射流冲击力效应会使工件发生弹性变形,从而改变电极电势,提高电流密度,加速了对工件的刻蚀。激光产生的力效应能够去除加工区的钝化层,使其发生电化学反应,而非加工区不发生反应,从而显著增强了电化学的定域蚀除能力。最后,利用力学电化学效应,在浓度为0.5mol/L的NaNO3溶液中实现了线宽140μm左右、深宽比较大的微细刻蚀加工,获得了较好的加工质量和成形精度。
张朝阳李中洋王耀民毛卫平
关键词:脉冲激光激光冲击电化学刻蚀
纳秒激光电化学复合掩模的微细加工被引量:3
2012年
在激光传输光路中加入掩模对激光束进行空间调制,采用纳秒脉冲激光器、纳秒脉冲电源和1 mol/L的NaNO3电解液对304不锈钢进行掩模微刻蚀加工试验研究。利用伏安法测定304不锈钢阳极电流随平均电压的变化规律;选用平均电压1.5 V、脉冲频率2.0 MHz、脉冲宽度60 ns、激光能量160 mJ的工艺参数,在所构建的试验系统中,分别进行了激光电化学复合掩模和盐溶液中的激光掩模加工试验。结果表明:在阳极钝化区内,纳秒脉冲激光电化学复合加工能够显著提高加工速率和加工表面质量,实现了线宽约为130μm、热影响区小的微细刻蚀加工,证实了纳秒脉冲激光电化学掩模加工在微细加工中具有很大潜力。
王耀民张朝阳李中洋毛卫平
关键词:纳秒脉冲掩模微细加工
激光电化学复合加工的温度场与电场模拟研究被引量:2
2013年
激光电化学复合微加工技术将激光能量与电化学加工相结合,利用激光的热-力学效应和电极反应去除工件材料,实现选择性定域刻蚀加工。针对激光电化学复合加工中的多能量场耦合特点,利用有限元分析软件ANSYS对复合刻蚀加工靶材的瞬态温度场和电场进行了有限元数值模拟,研究了温度、电场变化对复合加工区域范围及加工深度的影响;并与试验结果对比,分析了激光电化学去除材料、刻蚀成形的机理,探讨了激光电化学微细加工所得表面形貌的特征。
印洁张朝阳曾永彬李中洋秦昌亮
关键词:激光技术ANSYS温度场电场
激光电化学复合微加工的应力刻蚀研究
激光电化学复合微加工技术是一种将激光加工技术与电化学加工技术结合而形成的新型微细加工技术。激光冲击产生的热力效应可以去除其辐照区城內工件表面的钝化层,同时它还可以改变电极电势,提高电化学反应速率。研究了激光电化学复合微加...
蔡明霞张朝阳李中洋张长桃毛卫平丁伟
关键词:表面形貌
文献传递
共1页<1>
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