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朱立伟

作品数：8 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 5篇自标定
  • 4篇超精
  • 4篇超精密
  • 3篇气浮轴承
  • 3篇轴承
  • 3篇硅片
  • 2篇投影光刻
  • 2篇投影光刻机
  • 2篇工位
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机
  • 2篇步进
  • 2篇超精密定位
  • 1篇弹簧
  • 1篇动量
  • 1篇振动
  • 1篇气弹簧
  • 1篇自标定算法
  • 1篇空气弹簧
  • 1篇工作台

机构

  • 8篇清华大学

作者

  • 8篇朱立伟
  • 7篇朱煜
  • 7篇尹文生
  • 4篇段广洪
  • 3篇汪劲松
  • 3篇杨学智
  • 3篇王建发
  • 3篇张鸣
  • 3篇徐登峰
  • 3篇于晖
  • 3篇杨开明

传媒

  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇工具技术
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2006
  • 5篇2005
  • 1篇2004
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
超精密二维工作台自标定技术研究被引量：7
2005年
基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过程中的传递特性,在此基础上提出了超精密二维工作台自标定算法。给出了一个应用实例,验证了该算法的可行性和有效性。
朱立伟朱煜尹文生
关键词：超精密自标定测量不确定度分析
超精密工作台自标定不确定度定量评价被引量：1
2006年
为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度,提出了基于M on te C arlo模拟的自标定不确定度定量评价方法。该方法以自标定算法的最大不确定度放大倍数为评价指标,通过根据算法输入参数联合概率密度函数的大量随机抽样,以及对算法输出样本的统计来完成。仿真表明:该方法具有较好的通用性及可靠性,可在自标定方案设计阶段,有效地评价所使用算法的合理性,这对于超精密工作台自标定算法的设计及选择具有指导意义。
朱立伟朱煜尹文生
关键词：自标定MONTECARLO模拟
超精密工作台自标定技术研究
朱立伟
关键词：自标定
步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统
步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台定位单元和运行于预处理工位的硅片台定位单元，每个定位单元含有硅片承载装置。本发明设有供硅片承载装置沿Y向运动及交换的可对接的双侧直线导轨及与...
汪劲松朱煜张鸣尹文生段广洪杨学智徐登峰杨开明朱立伟王建发于晖
文献传递
步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统
步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台定位单元和运行于预处理工位的硅片台定位单元，每个定位单元含有硅片承载装置。本发明设有供硅片承载装置沿Y向运动及交换的可对接的双侧直线导轨及与...
汪劲松朱煜张鸣尹文生段广洪杨学智徐登峰杨开明朱立伟王建发于晖
文献传递
IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究被引量：4
2005年
在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法。仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中随机测量噪声的影响。
朱煜朱立伟尹文生段广洪
关键词：超精密工作台自标定
带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统
带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统，该系统运用动量守恒原理，将硅片承载装置及其驱动导向装置放置在一个由气浮轴承支撑的、具有X、Y两自由度的平衡块上，当硅片承载装置沿一个方向运动时，平衡块反方向运动，消除由于运动反力引...
汪劲松朱煜张鸣尹文生段广洪杨学智徐登峰杨开明朱立伟王建发于晖
文献传递
二维超精密工作台自标定算法
2006年
基于刚性运动学理论建立了二维超精密工作台运动测量模型,并在此基础上使用辅助测量装置的三个测量位姿和二维傅里叶变换提出了二维超精密工作台自标定算法;通过应用实例验证了该算法的可行性和有效性。
朱立伟朱煜尹文生
关键词：超精密自标定
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