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张海波
作品数:
51
被引量:69
H指数:6
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
周军
中国科学院上海光学精密机械研究...
袁志军
中国科学院上海光学精密机械研究...
魏运荣
中国科学院上海光学精密机械研究...
楼祺洪
中国科学院上海光学精密机械研究...
耿立明
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
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张海波
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周军
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袁志军
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魏运荣
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楼祺洪
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2011
3篇
2010
2篇
2009
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含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置
一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置,由光束整形器、棱镜扩束器和衍射光栅组成。通过在光路中置入棱镜将矩形光束的长轴分为若干方向的子光束,通过高反镜将变向的子光束与原光束的短轴重叠,从而实现光束长宽比的变化,进而减小...
周军
张海波
赵宏明
楼祺洪
魏运荣
董景星
文献传递
精密波长调谐装置
一种精密波长调谐装置,由扩束器、光栅装调架、闪耀光栅、旋转平台、连杆、直线伺服控制平台、第一圆柱销和第二圆柱销组成,本实用新型具有结构简化、波长调谐精度高、可应用于激光器的波长调谐和波长稳定控制的特点。
耿立明
张海波
袁志军
周军
魏运荣
姜丽媛
文献传递
精密波长调谐装置
一种精密波长调谐装置,由扩束器、光栅装调架、闪耀光栅、旋转平台、连杆、直线伺服控制平台、第一圆柱销和第二圆柱销组成,本发明具有结构简化、波长调谐精度高、可应用于激光器的波长调谐和波长稳定控制的特点。
耿立明
张海波
袁志军
周军
侯霞
姜丽媛
文献传递
一种阵列光纤与大尺寸石英端帽的熔接装置与方法
一种实现阵列光纤与大尺寸石英端帽熔接的装置,包括二氧化碳激光器、分光镜、光束整形器、高反镜、图像探测模块、阵列光纤及其载具、大尺寸石英端帽及其载具、步进电机、测温仪、计算机;二氧化碳激光器发出的激光束经分光镜分成两束光,...
张海波
吴梦浩
何兵
雷雨
周军
漆云凤
袁志军
叶韧
准分子激光器干涉条纹的数据处理方法
一种准分子激光器干涉条纹的数据处理方法,该方法将准分子激光利用标准具、透镜等形成的干涉条纹成像到光电二极管阵列上,经数据采集模块送计算机采用总体平均经典模态分解方法进行数据处理。本发明引入噪声辅助信号进行处理,经过多次平...
姜丽媛
张海波
袁志军
周军
耿立明
魏运荣
文献传递
棱镜扩束系统
一种棱镜扩束系统,其特点在于:该扩束系统由2个以上结构相同的直角棱镜构成,入射光束从所述的直角棱镜的斜面入射,称为入射斜面,出射光束垂直于同一直角棱镜的直角面,称为出射直角面,所有直角棱镜的顶角α相同且满足下列公式:<I...
袁志军
张海波
周军
耿立明
姜丽媛
魏运荣
文献传递
棱镜扩束器装调仪及装调方法
一种棱镜扩束器装调仪及装调方法,棱镜扩束器装调仪由光源、载物台、精密转台、支柱、二维行程平台、第一直角曲杆、指示光源、第二直角曲杆、滤光片、光电探测器和电脑组成。采用本发明棱镜扩束器装调仪及装调方法,可精确地标定棱镜扩束...
张海波
袁志军
周军
魏运荣
姜丽媛
耿立明
ArF准分子激光器线宽压缩技术
被引量:15
2009年
ArF准分子激光器是实现45nm技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193nm的光谱线宽压缩技术。
张海波
楼祺洪
周军
董景星
魏运荣
关键词:
激光器
准分子激光器
主振荡功率放大
高功率连续波单模全光纤激光器
周军
楼祺洪
何兵
李进延
漆云凤
刘驰
戴能利
赵纯
谢可迪
魏运荣
袁志军
张海波
该项目属于激光技术领域。以波导光纤为工作物质的高功率光纤激光器是国际上正在发展的新一代高功率激光器,在先进制造、国防军事等领域具有重要应用价值,正如《Laser Focus World》在"2014年全球激光器市场回顾与...
关键词:
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全光纤激光器
连续波
窄线宽准分子激光器
一种窄线宽准分子激光器,由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔及输出耦合镜组成。准分子激光先经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄,输出的窄线宽激光经过谐振腔外垂直光路放置的紫外标准具,对其光谱进一步压窄。本实用新型...
袁志军
张海波
周军
楼祺洪
魏运荣
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