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张成顺
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
长春工业大学材料科学与工程学院
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发文基金:
吉林省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
经济管理
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合作作者
白晓明
空军航空大学
刘有军
空军航空大学
佘辉
空军航空大学
濮春英
空军航空大学
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机构
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长春工业大学
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空军航空大学
作者
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张成顺
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白晓明
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佘辉
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刘有军
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2011中国...
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衬底偏压对CrN/Si3N4纳米多层膜结构和力学性能的影响
2013年
采用磁控溅射法在不同基底偏压条件下制备了CrN/Si3N4纳米多层膜,用x射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪表征,结果表明,衬底偏压对CrN/Si3N4纳米多层膜微观结构、界面结构、硬度和磨损性能有重要影响;漂浮电位时,导致多层膜界面粗糙,CrN呈(200)、(111)共同生长,硬度和弹性模量低;当偏压变化时,界面宽度和粗糙度变化不大,硬度和模量变化的主要原因是不同衬底偏压下的晶格畸变导致两层材料弹性模量变化和晶粒尺寸变化。与漂浮电位相比,涂层的屈服应力和断裂韧性有所增强。
白晓明
张成顺
佘辉
刘有军
关键词:
CRN
SI3N4
微观结构
力学性能
石灰窑气低成本利用在CO2减排方面的突出优势
对我国石灰生产业CO2排放的现状进行了介绍,提出石灰工业排放CO2的资源化利用方法,石灰工业属高能耗、高污染产业。其污染物以粉尘和CO2污染为主要特征。石灰工业排放CO2的资源化利用具有重要意义,本文针对目前石灰生产企业...
张成顺
白晓明
关键词:
二氧化碳排放
资源管理
文献传递
偏压对CrN/Si_3N_4纳米多层膜结构、硬度和断裂韧性的影响
被引量:2
2013年
利用磁控溅射法在不同基底偏压条件下制备了CrN/Si3N4纳米多层膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪表征多层膜的微观结构及力学性能,结果表明,衬底偏压对CrN/Si3N4纳米多层膜微观结构、界面结构、硬度和磨损性能有重要影响。漂浮电位时多层膜界面粗糙,CrN呈(200)、(111)共同生长,硬度和弹性模量低,有偏压且变化时界面宽度和粗糙度变化不大,硬度和模量变化的主要原因是不同衬底偏压下的晶格畸变导致两层材料弹性模量变化和晶粒尺寸变化。基底偏压的优化有助于改善涂层的屈服应力和断裂韧性。
白晓明
张成顺
佘辉
刘有军
濮春英
关键词:
CRN
SI3N4
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