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庄岩
作品数:
3
被引量:6
H指数:2
供职机构:
国家光电子工艺中心
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
王玉田
国家光电子工艺中心
庄岩
中国科学院半导体研究所
郑文莉
中国科学院高能物理研究所
修立松
中国科学院高能物理研究所
江德生
中国科学院半导体研究所
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作者
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王玉田
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庄岩
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庄岩
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Journa...
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物理学报
年份
1篇
1998
1篇
1996
1篇
1995
共
3
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高精度双晶衍射(HRDCD)方法检测InGaAs/GaAs超薄应变层量子阱结构参数
被引量:1
1995年
应变超薄层结构的组分、厚度、应变状态的直接检测,对于器件应用具有重要的意义,本文中,利用MOCVD方法得到高质量的InGaAs/GaAs量子阱材料,采用双晶衍射方法的弱信号收集技术,结合运动学理论模拟,得出同时包含几个不同阱宽的InGaAs/GaAs量子阶结构的重要参数,其检测结果与光致发光(PL)、透射电子显微镜(TEM)等方法的测试结果基本一致,表明X射线双晶衍射方法是检测超薄层应变量子阱结构的一个有效方法.
王小军
庄岩
王玉田
庄婉如
王启明
黄美纯
关键词:
砷化镓
量子阱结构
双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究
被引量:3
1996年
利用高精度的X射线双晶衍射和同步辐射散射对可用于半导体红外探测器的双势垒超晶格材料进行了研究,并运用X射线衍射动力学理论进行模拟计算,得到了与实验结果符合得很好的理论曲线.同时发现包络函数节点处的卫星峰对结构参数的变化极为灵敏.以此进行模拟计算,可准确地确定出样品的结构参数,厚度误差范围为±01nm.
王玉田
庄岩
庄岩
江德生
姜晓明
杨小平
修立松
姜晓明
关键词:
X射线衍射
双势垒
超晶格
Pt-Ni/p-InP低阻欧姆接触的机理研究
被引量:2
1998年
本文利用X射线衍射和AES(俄歇)方法,深入地研究了RF磁控溅射淀积的Pt-Ni/p-InP(100)非合金膜系在热退火过程中Pt和Ni与衬底InP中的In和P形成稳定化合物的行为。
李秉臣
王玉田
庄岩
关键词:
半导体器件
欧姆接触
磷化铟
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