左伟
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程电子电信化学工程更多>>
- 热丝化学气相法合成金刚石的温度场仿真及试验被引量：5
- 2008年
- 为了对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的工艺进行优化,提出了以有限元法模拟金刚石薄膜沉积系统三维温度场的新方法.在有限元仿真中,分析了温度场中热丝温度、直径、热丝排布、热丝与衬底距离等参数对衬底温度及均匀性的影响.在此基础上,通过热丝化学气相法沉积金刚石薄膜和生长单晶金刚石颗粒的试验验证了仿真结果的正确性.实验和仿真结果一致表明,热丝排布以及热丝与衬底间距离是影响金刚石薄膜沉积温度场的主要因素.
- 左伟沈彬孙方宏陈明
- 关键词：热丝化学气相沉积温度场金刚石薄膜
- 部分内填混凝土钢桁梁焊接整体节点力学性能分析
- 整体节点作为一种新型的节点形式,在我国钢桁架桥梁建设中得到广泛的应用。整体节点在工厂制造,质量容易得到控制,同时由于拼接位置在节点之外,现场拼装工作量小且难度较低。另外整体节点还具有密封性好、整体性强、外观简洁等优点。由...
- 左伟
- 关键词：钢桁梁节点刚度极限承载力破坏模态
- 文献传递
- 热丝化学气相法生长单晶金刚石颗粒的衬底温度场仿真及实验研究(英文)被引量：1
- 2007年
- 本文使用金刚石磨料作为晶种颗粒,通过热丝化学气相法生长出单晶金刚石颗粒,并且建立三维的有限元模型,利用有限元仿真分析了生长过程中影响金刚石磨料生长速率以及沉积质量的各种因素,如热丝的排列方式,衬底的温度场,以及晶种的分布方式。通过固定在热丝CVD反应腔里的热电偶测量了实际的衬底温度分布,从而验证了仿真结果的正确性。另外,通过改变仿真模型优化了沉积单晶金刚石颗粒的工艺参数,获得适应于合成单晶金刚石颗粒的新技术,为化学气相沉积合成单晶金刚石颗粒奠定了基础,也为高温高压金刚石磨料品级的改进与提高提供了新途径。
- 左伟沈彬孙方宏陈明
- 关键词：热丝化学气相沉积温度场仿真
- 热丝化学气相法合成金刚石的温度场仿真及试验研究
- CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能，从而使其在工模具领域具有广阔的应用前景。然而，形核不均匀和生长速率低仍是目前HFCVD生长大面积、高质量金刚...
- 左伟
- 关键词：人造金刚石金刚石薄膜
- 文献传递
