孙特
- 作品数:4 被引量:3H指数:1
- 供职机构:西安理工大学更多>>
- 发文基金:陕西省自然科学基金陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:冶金工程金属学及工艺更多>>
- 一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法
- 本发明公开了一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法,该方法以纯度高于99.9 %的W粉和纯度高于96.7 %的TiH<Sub>2</Sub>粉为原料,先对纳米级W粉与微米级W粉的级配,将级配后的W粉与T...
- 杨晓红孙特肖鹏梁淑华
- 文献传递
- 不同粒度W粉与TiH_2液相烧结制备W-10Ti合金被引量:3
- 2013年
- 以粒度6和300nm的高纯钨粉级配后与TiH2粉混匀,经冷等静压压制后采用液相烧结制备W-10Ti合金。通过测试合金致密度,利用XRD,SEM及TEM等测试手段,研究了不同钨粉粒度对W-10Ti合金显微组织和相组成的影响。结果表明:全部用6μm钨粉时,制备的W-10Ti合金致密度仅为85%;但组织中W和Ti分布比较均匀,形成相结构相对单一的富W固溶体。全部用300nm钨粉时,合金致密度可达到97%以上,但组织中有较多的富Ti固溶体。采取纳米与微米W粉级配时,级配比越小,W-10Ti合金中富W固溶体含量越多,但致密度越低。级配比为1:2时,致密度可达到95%,且形成相对单一的富W固溶体相。
- 杨晓红孙特肖鹏梁淑华
- 关键词:液相烧结致密度
- 一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法
- 本发明公开了一种采用冷等静压和液相烧结制备W-10Ti合金靶材的方法,该方法以纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH<Sub>2</Sub>粉为原料,先对纳米级W粉与微米级W粉的级配,将级配后的W粉与TiH...
- 杨晓红孙特肖鹏梁淑华
- 液相烧结法制备单相固溶体w-10Ti合金靶材
- W-Ti合金薄膜在微电子等方面具有良好应用前景,通过溅射法制备的W-Ti薄膜(Ti质量分数为10%-30%)已作为Cu布线扩散阻挡层,既能够阻挡Cu的扩散义能有效改善Cu与基体(Si和SiO2等)的结合强度,正成为Cu布...
- 孙特
- 关键词:冷等静压致密度
- 文献传递