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单耀莹

作品数：49 被引量：15H指数：3
供职机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信轻工技术与工程经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 45篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 6篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 48篇激光
  • 38篇激光器
  • 25篇准分子
  • 25篇分子
  • 24篇准分子激光
  • 23篇分子激光器
  • 22篇准分子激光器
  • 15篇线宽
  • 11篇气体激光
  • 11篇气体激光器
  • 9篇谐振腔
  • 7篇镜片
  • 7篇激光输出
  • 7篇功率放大
  • 7篇光输出
  • 6篇光学
  • 6篇反射镜
  • 6篇放大系统
  • 5篇工作气体
  • 4篇窄线宽

机构

  • 48篇中国科学院光...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇中国电子信息...

作者

  • 49篇单耀莹
  • 44篇宋兴亮
  • 42篇沙鹏飞
  • 40篇赵江山
  • 39篇周翊
  • 38篇李慧
  • 37篇范元媛
  • 28篇蔡茜玮
  • 28篇彭卓君
  • 27篇王宇
  • 20篇王倩
  • 19篇张立佳
  • 11篇丁金滨
  • 8篇崔惠绒
  • 8篇鲍洋
  • 3篇石海燕
  • 3篇吴月婷
  • 1篇楼祺洪
  • 1篇刘广义
  • 1篇袁志军

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇中国科学院院...

年份

  • 1篇2025
  • 8篇2018
  • 2篇2017
  • 9篇2016
  • 15篇2015
  • 5篇2014
  • 9篇2013
共 49 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种一体化气体激光器
本发明公开了一种一体化气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；腔...
沙鹏飞彭卓君单耀莹宋兴亮李慧蔡茜玮范元媛赵江山周翊
一种准分子激光器
本发明公开了一种准分子激光器，包括种子腔、放大腔以及光路传输结构，种子腔用于输出种子激光，放大腔用于放大所述种子激光的能量，光路传输结构用于引导激光的传输，其中，光路传输结构包括第一三角棱镜、第二三角棱镜及第三三角棱镜。...
李慧赵江山范元媛沙鹏飞宋兴亮单耀莹王倩蔡茜玮张立佳
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一种用于准分子激光器的气体循环系统
本发明公开了一种气体循环系统，用于循环准分子激光器的工作气体，准分子激光器的腔体具有进入管道和出气管道，气体循环系统包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4)，储气室(4)分别与出气管道、冷凝器(1...
沙鹏飞单耀莹彭卓君宋兴亮蔡茜玮范元媛李慧赵江山周翊
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基于等腰直角三角棱镜的激光线宽压窄扩束装置
本实用新型公开了一种激光线宽压窄扩束装置，包括光束扩束装置，光束扩束装置用于对激光进行一维扩束，且所述光束扩束装置由单个棱镜或棱镜组构成，所述单个棱镜和组成棱镜组的棱镜均为等腰直角三棱镜。本实用新型具有结构简单、加工精度...
李慧赵江山单耀莹沙鹏飞宋兴亮蔡茜玮彭卓君范元媛张立佳鲍洋周翊王宇
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精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法
本发明公开了一种测量高能紫外激光系统中待测镜片透过率的装置和相应的方法，装置的激光光源(1)产生高能紫外脉冲激光，反射光栅(6)接收该脉冲激光，并将该脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作...
范元媛周翊宋兴亮王倩张立佳单耀莹蔡茜玮彭卓君王宇
一种改进谐振腔的窄线宽准分子激光器
本发明公开了一种准分子激光器，包括放电腔，该放电腔具有两个相对的出射端，其中一个出射端放置全反镜，另一个出射端沿光路依次放置棱镜和光栅，该激光器的谐振腔由所述全反镜和所述光栅之间的光路上的光学元件构成，该谐振腔的输出位于...
单耀莹沙鹏飞彭卓君李慧张立佳范元媛赵江山周翊王宇
具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器
本实用新型公开了一种具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(...
沙鹏飞彭卓君单耀莹宋兴亮李慧蔡茜玮范元媛赵江山周翊
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一种多功能光学材料测试装置
本发明公开了一种多功能光学材料测试装置，包括激光器、反射镜安装机构和样品室，反射镜安装机构用于安装反射镜，样品室用于接收来自激光器或反射镜安装机构的激光，以对装载其中对光学材料进行照射。所述反射镜安装机构和样品室均具有多...
沙鹏飞周翊赵江山单耀莹彭卓君丁金滨宋兴亮范元媛李慧
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高效率ArF准分子激光复合腔技术研究被引量：5
2016年
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案,并进行了实验验证。与通常插入色散元件的单窄带腔相比,锁定后的准分子激光复合腔在输出线宽基本不变的情况下能量提高了4.02倍,激光效率大幅提升,能量稳定性也大幅优化。
范元媛周翊刘广义宋兴亮单耀莹王倩赵江山
关键词：激光器准分子激光器复合腔窄线宽
自种子注入双腔结构准分子激光器系统
本发明公开了一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模...
周翊范元媛单耀莹吴月婷沙鹏飞宋兴亮张立佳崔惠绒王宇
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