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刘银元

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：中南大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术环境科学与工程自动化与计算机技术冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇电容
  • 2篇钽粉
  • 1篇电解电容
  • 1篇电解电容器
  • 1篇电解电容器用
  • 1篇电容器
  • 1篇电容器用
  • 1篇电性能
  • 1篇乙醇
  • 1篇器用
  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇击穿电压
  • 1篇TA
  • 1篇钽

机构

  • 3篇中南大学

作者

  • 3篇刘银元
  • 1篇邱冠周
  • 1篇唐谟堂
  • 1篇杨声海

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
高压电解电容用钽粉的制备
刘银元
文献传递网络资源链接
高压电解电容器用钽粉的制备
钽电解电容器具有体积小、容量大、漏电流小、性能稳定和可靠性高的优点，广泛应用于军事、航空航天、电子等领域。由于高压电解电容器用钽阳极材料的生产工艺流程长、影响因素多，导致电容器粉性能稳定性差。研究了钽粉制备工艺条件和钽粉...
刘银元
关键词：钽粉击穿电压电性能
文献传递
乙醇钽化学气相沉积制备Ta_2O_5薄膜研究进展被引量：3
2007年
Ta2O5薄膜层具有较高的介电常数、折射率以及和ULSI加工过程中的相容性,因而将在硅芯片栅层材料、动态随机存储器、减反膜、气敏传感器、太阳能光伏电池面板介电层等方面得到应用。对以Ta(OC2H5)5为原料,通过常规金属有机化合物气相沉积、光致化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积、原子层化学气相沉积和脉冲化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜进行了评述,并对这些方法存在的问题进行了分析。
杨声海刘银元邱冠周唐谟堂
关键词：化学气相沉积
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