北京北仪创新真空技术有限责任公司(以下简称北仪)自行设计并成功研制了中国国内首条、整机全部国产化的非晶硅薄膜太阳电池生产线;经过多个用户生产线的建设深刻认识到:核心技术的提升必须依靠自主创新;技术进步需要工艺与设备配套研发、交替提升。北仪建设了具有产业化能力的薄膜太阳电池实验中心;创建了含有"‘在线实验室’的可创新薄膜太阳电池生产线",本文介绍了该生产线的核心设备以及关键工艺步骤中"在线实验室"所起的作用。该生产线的核心设备为等离子体增强化学气相沉积系统(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在"在线实验室"的指导下,通过对该系统的稳定性和膜层均匀性的改进以及电池I层厚度和P层材料带隙的优化,得到了性能更优的同质双结非晶硅太阳电池。
