丁寅
- 作品数：3 被引量：8H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 游离磨料线切割的切割液行为综述被引量：7
- 2009年
- 本文阐述了游离磨料线切割的原理及线切割中的弹性流体动压效应的概念,对游离磨料线切割过程中的切割液行为的理论研究现状进行了综述,主要包括弹性流体动压效应数学模型的建立和压力与膜厚的数值求解等,此外,还从切割液成膜状态、振动对切割效率的影响、切割液的组成配方对切削效果和效率的影响等方面对游离磨料线切割过程中的切割液行为的实验研究进行了总结归纳。这些成果对于推动游离磨料线切割技术深入研究和推广应用具有参考意义。
- 袁艳蕊魏昕丁寅
- 关键词：线切割
- 游离磨料线切割硅晶体中的磨粒力学行为研究综述
- 2011年
- 游离磨料线切割具有切割效率高、切口材料损耗小、表面损伤程度浅、厚度小、切割噪声小等优点而广泛应用于半导体和光伏产业。本文阐述了游离磨料线切割的原理,对游离磨料线切割过程中磨粒力学行为的理论模型研究进行了综述,主要包括磨粒压入力学模型、流体动压滚动力学模型、切削变形力学模型。此外,还从多磨粒的压入效应、切割液的运动方式上对加工中磨粒力学行为仿真进行了归纳,在实验研究方面对磨粒的加工状态和锯切力研究进行了总结。本文的研究成果对于推动游离磨料线切割技术的深入研究和推广应用具有较好的参考意义。
- 丁寅魏昕
- 关键词：线切割硅片加工
- 游离磨料线切割中磨粒的力学行为及其对切割表面质量的影响研究
- IC、PV和LED产业的飞速发展对大尺寸硅晶片加工提出了新的要求,需要对现有硅晶片主流切片技术——游离磨料线切割进行分析和建模,从而更好的满足现代工业中对质量、效率、生产力和成本效益的要求。国内外学者对游离磨料线切割做了...
- 丁寅
- 关键词：硅片加工
- 文献传递
