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陈光遂

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇半导体
  • 1篇在线检测
  • 1篇噪声
  • 1篇噪声滤除
  • 1篇准静态
  • 1篇工频
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇半导体工艺设...
  • 1篇半导体器件
  • 1篇ATF
  • 1篇C-V测量
  • 1篇测试系统
  • 1篇测试仪
  • 1篇C-V

机构

  • 3篇西安交通大学

作者

  • 3篇陈光遂
  • 2篇李同合
  • 1篇陈敏麒
  • 1篇高捷
  • 1篇陈之昀
  • 1篇何丕模
  • 1篇谢海
  • 1篇邵志标
  • 1篇孙志刚
  • 1篇徐伟明
  • 1篇钱伟

传媒

  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇1997
  • 1篇1993
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
准静态C-V测量中的工频噪声滤除新方法
1997年
准静态Ｃ—Ｖ测量中的工频噪声滤除新方法＊李同合陈光遂高捷（西安交通大学微电子工程系西安７１００４９）０引言半导体界面陷阱密度Ｄｉｔ是表征Ｓｉ－ＳｉＯ２界面性质的一个重要参数，该参数对半导体器件，特别是对ＭＯＳ晶体管特性及稳定性有着重要影响。精确地测量...
李同合陈光遂高捷
关键词：准静态C-V测量半导体ATF
CSM系列半导体测试系统的研究被引量：3
1993年
CSM系列自动化半导体测试系统是由微型计算机、接口电路单元以及各种模拟测量仪器组合构成的专用测试系统.测量仪器是1MHz电容仪、微电流仪、线性斜坡电压发生器等等.本文重点介绍CSMⅢ型系统.该系统已配备七套应用软件,既可用于集成电路芯片生产过程中关键工序的在线工艺检测,也可用于半导体器件的研究工作.本系统可以替代进口的类似检测设备.
陈光遂何丕模高捷陈敏麒
关键词：半导体器件测试系统
C-V测试仪
陈光遂高捷李同合陈之昀邵志标徐伟明孙志刚谢海钱伟
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果简介：该系统是大规模集成电路及半导体分立器件及半导体分立器件上生产线上工艺在线检测测的重要设备。生产流程一旦发现问题，利用它可以在氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发铝、外延...
关键词：
关键词：半导体工艺设备在线检测
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