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郑百祥

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇SIC
  • 3篇MEMS压力...
  • 3篇处理电路
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇单片
  • 2篇单片集成
  • 2篇衬底
  • 1篇电路
  • 1篇电路研究
  • 1篇MEMS

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇郑百祥
  • 2篇陈哲
  • 2篇刘雷
  • 2篇唐伟
  • 2篇张海霞

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括嵌置了CMOS处理电路的第一衬底、开有压力腔的第二衬底和两衬底之间的电容感应薄膜；该薄膜由两层PECVD SiC薄膜夹上电极组成，悬浮于压力...
唐伟陈哲郑百祥刘雷张海霞
文献传递
SiC MEMS压力传感器及其处理电路研究
近年来,随着MEMS技术的不断发展和成熟,各类MEMS器件和系统在汽车、消费电子、生物医疗等领域的应用中大放异彩,成为高科技领域的研究热点和产业生力军,获得了广泛的关注。但是,由于硅材料本身特性的限制,硅基MEMS器件在...
郑百祥
关键词：MEMS压力传感器处理电路
一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种单片集成SiC MEMS压力传感器及其制备方法。该压力传感器包括嵌置了CMOS处理电路的第一衬底、开有压力腔的第二衬底和两衬底之间的电容感应薄膜；该薄膜由两层PECVD SiC薄膜夹上电极组成，悬浮于压力...
唐伟陈哲郑百祥刘雷张海霞
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