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邹立华

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇国内会议论文

主题

  • 3篇电路
  • 3篇集成电路
  • 2篇大规模集成电...
  • 1篇电路工艺
  • 1篇输片
  • 1篇输片系统
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻机
  • 1篇自对准
  • 1篇微动台
  • 1篇微型控制机
  • 1篇控制机
  • 1篇机床
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇计算机控制
  • 1篇工作台
  • 1篇工作台(机床...
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇光学投影系统

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇邹立华
  • 2篇廖艳姣
  • 2篇徐振明
  • 1篇高慧芬
  • 1篇齐国生

传媒

  • 2篇第六届全国电...
  • 1篇1988年全...

年份

  • 2篇1991
  • 1篇1988
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
AWT-1型自动输片系统
徐振明邹立华高慧芬
关键词：集成电路工艺微型控制机计算机控制
自动对准光刻机一次版微动台自动对准系统
邹立华廖艳姣徐振明
关键词：工作台(机床)超大规模集成电路
自动对准投影光刻机硬件系统研究及设计
邹立华齐国生廖艳姣
关键词：光学投影系统大规模集成电路半导体工艺光刻机
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