公共文化服务平台

共 5 条记录，以下是 1-5

全选清除导出

排序方式：

基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究被引量：1: 2006年; 以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．; 施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英; 关键词：激光微加工

Al_2O_3陶瓷基体温度传感器的激光精密加工技术研究: 2007年; 为了掌握采用激光精密加工技术加工Al2O3陶瓷基体温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调QNd:YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光划片工艺参数与Al2O3陶瓷基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精度的关系。; 胡竹平施云波殷景华郭建英; 关键词：激光划片激光调阻

多孔电极平板结构的PdPc/H_2PtCl_6杂化有机半导体毒气传感器的研究被引量：4: 2006年; 采用“摸扳法”以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料，以N，N二甲基甲酰胺为溶剂，在N2保护和碳酸钾的催化作用下，合成了酞菁分子碎片，通过质谱分析确定了相对分子质量为243（理论值为243．34），验证了工艺过程的正确性。以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc，通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合，确定了合成反应终产物，进而以一定比例将PdPc、HzPtCle共溶在甲醇溶液中，在30～50℃下48h杂化合成为有机半导体气敏材料。依据欧姆定律，并以激光微加工、半导体技术设计、制诈了多孔电极平板结构，增大电极面积，降低了电极间距，比常用叉指电极结构的电阻降低了10。倍以上，使其电导率接近无机半导体数量级，利于后续电路信号采集。通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌，确定其为连续、多孔的表面态，气孔在Ф0．1～Ф2μm，既保证了导电，又有透气的特征。以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜，电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌，基本层膜厚2μm，并有Ф0．1～Ф5μm微球结晶体嵌入，分布匀一，呈现继续互融生长趋势。以静态法测量其气敏特性，结果表明传感器对NO2呈N型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为7．45倍；对NO呈P型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为0．25倍；响应时间为90s。对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关。; 施云波张洪泉项金娟冯侨华胡竹平郭建英; 关键词：多孔电极平板结构有机半导体杂化半导体传感器

基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究: 本文以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95＃Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气...; 施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英; 关键词：激光微加工微结构; 文献传递

激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究: 随着MEMS技术的飞速发展，具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子技术领域中的研究热点。本文采用激光微加工技术研制了多种微结构体以及超薄型Pt膜温度传感器。 ...; 胡竹平; 关键词：激光微加工激光划片激光调阻微器件温度传感器; 文献传递

全选清除导出

共1页<1>

胡竹平

合作作者

文献类型

领域

主题

机构

作者

传媒

年份

用户反馈

胡竹平

合作作者

文献类型

领域

主题

机构

作者

传媒

年份

用户登录

用户反馈