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Mg含量对Zn1-xMgxO薄膜结构及透光性的影响: 采用超声喷雾热解法,在Si(100)和石英玻璃衬底上,生长出没有相偏析、结晶质量好、不同组分比的Zn1-xMgxO薄膜(x=0.06,0.12,0.19,0.24,0.27).采用X射线衍射(XRD)、透过率(Trans...; 张霞李效民陈同来于伟东; 关键词：透光性吸收边蓝移; 文献传递

Zn_(1-x)Mg_xO薄膜p型导电和光学性能被引量：10: 2006年; 采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S i(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg0.19O,N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜。以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photolum inescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化。电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-A l共掺杂ZnO和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型导电。Zn0.81Mg0.19O和N-A l共掺杂Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在维持ZnO纤锌矿结构的前提下,光学带隙随Mg掺杂量增加而增大。初步结果显示,优化工艺参数下通过Mg掺杂制备光学带隙可调的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,对于试制Zn1-xMgxO基同质p-n结、短波长(紫外、深紫外)器件等方面有重要意义。; 张霞李效民陈同来于伟东高相东张灿云赵俊亮; 关键词：导电性能光致发光

Si(100)衬底上PLD法制备高取向度AlN薄膜被引量：8: 2005年; 采用脉冲激光沉积法(PLD),以KrF准分子为脉冲激光源,Si(100)为衬底,同时引入缓冲层TiN和Ti0.8Al0.2N,制备了结晶质量优异的A1N薄膜,X射线衍射(XRD)及反射式高能电子衍射(RHEED)分析表明A1N薄膜呈(001)取向、二维层状生长.研究发现,薄膜的生长模式依赖于缓冲层种类,直接在Si衬底上或MgO／Si衬底上的A1N薄膜呈三维岛状生长;而同时引入缓冲层TiN和Ti0.8Al0.2N时,A1N薄膜呈二维层状生长.此外,激光能量密度大小对A1N薄膜的结晶性有显著的影响,激光能量密度过大,薄膜表面粗糙,有颗粒状沉积物生成.在氮气气氛中沉积,能使薄膜的取向由(001)改变为(100).; 张霞陈同来李效民; 关键词：脉冲激光沉积 ALN薄膜缓冲层

脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究被引量：6: 2005年; 研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg靶和烧结陶瓷MgO靶,对薄膜结晶性的影响,发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量.最后在优化的制备工艺参数:衬底温度TS=873K,激光能量密度DE=7J/cm2,靶材与衬底间距离DST=70mm,激光脉冲频率FL=5Hz以及采用烧结陶瓷MgO靶材和添加TiN籽晶层的情况下,获得层状生长模式和表面具有原子级平整度的MgO薄膜.; 陈同来李效民张霞高相东于伟东; 关键词：脉冲激光淀积硅衬底 RHEED

硅衬底上多层薄膜材料的PLD法制备、微观结构与性能研究: 伴随着硅半导体材料微加工技术的日益发达、以及电子行业对薄膜材料与半导体材料集成微型元器件的需求,单晶硅衬底上薄膜材料的生长将更具实用价值。在基础研究阶段,大多采用与所要生长的薄膜材料相接近的衬底材料,如MgO和SrTiO...; 陈同来李效民于伟东高相东张霞; 文献传递

采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶材对PLD淀积MgO薄膜的结晶性的影响: 本文研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度.通过对比采用金属Mg靶和烧结陶瓷Mp靶对MgO薄膜结晶性的影响,发...; 陈同来李效民于伟东张霞高相东; 关键词：脉冲激光淀积 RHEED 衬底温度; 文献传递

采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶材对PLD淀积MgO薄膜的结晶性的影响: 本文研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,采用金属Mg和烧结MgO陶瓷靶对薄膜结晶性的影响。研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度。通过对比采用金属Mg靶和烧结陶瓷MgO 靶对MgO薄膜结晶性的影响...; 陈同来李效民于伟东张霞高相东; 关键词：脉冲激光淀积 RHEED; 文献传递

高质量外延ZnO薄膜的结晶生长及其光学带隙调控研究: 电子信息产业的迅猛发展、半导体照明的需求与日俱增，呼唤半导体超高密度存储、半导体蓝紫光照明的蓬勃兴起。这类蓝紫光半导体应用的光明前景之一在于开发新型蓝光至紫外波段的激光二极管(LDs)、发光二极管(LEDs)器件，氧化锌...; 张霞

Mg含量对Zn1-xMgxO薄膜结构及透光性的影响: 采用超声喷雾热解法,在Si（100）和石英玻璃衬底上,生长出没有相偏析、结晶质量好、不同组分比的Zn1-xMgxO薄膜（x=0.06,0.12,0.19,0.24,0.27）。采用X射线衍射（XRD）、透过率（Trans...; 张霞李效民陈同来于伟东; 关键词：透光性吸收边蓝移; 文献传递

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张霞