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张德阳

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇圆片
  • 1篇制作方法
  • 1篇自锁
  • 1篇微结构
  • 1篇键合
  • 1篇硅片

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇吴国强
  • 1篇徐德辉
  • 1篇熊斌
  • 1篇张德阳
  • 1篇王跃林
  • 1篇姚邵康

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
自锁圆片键合结构及制作方法
本发明涉及一种自锁圆片键合结构及制作方法，所述自锁圆片键合结构是通过键合下圆片上的凹槽结构和键合上圆片的凸台结构进行镶嵌形成自锁微结构，通过下凹槽结构和上凸台结构之间的键合材料键合或直接键合完成上下键合圆片的键合。其制作...
徐德辉熊斌吴国强姚邵康张德阳王跃林
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