宋双喜
- 作品数：5 被引量：7H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法
- 本发明涉及一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法，该方法利用现有的聚焦离子束刻蚀出“工字形”的薄膜横截面样品，将此试样焊接至推拉式(Push to Pull，PTP)装置上，再基于纳米压入技术直接单向拉伸，修正...
- 叶岚宋双喜
- 文献传递
- 集成电路铜金属化中的Mo基扩散阻挡层研究
- 本文以Mo，Mo-N，Mo/Mo-N，W/Mo-N以及Mo/Ta-N为研究对象，采用了磁控溅射、反应溅射等技术在Si衬底上生长了Mo，Mo-N，Mo/Mo-N，W/Mo-N以及Mo/Ta-N薄膜，对样品进行了四点探针薄膜...
- 宋双喜
- 关键词：铜互连扩散阻挡层溅射
- 文献传递
- Nb-Mo微合金化对δ-TRIP钢组织和力学性能的影响被引量：3
- 2019年
- 采用SEM、TEM、EBSD等分析了Nb-Mo微合金化对δ-TRIP钢力学性能、组织结构的影响。结果表明:Nb-Mo微合金化试验钢及对照钢均为复相组织,主要由δ铁素体、贝氏体、α铁素体和残留奥氏体等构成。添加微量Nb-Mo元素后,试验钢组织中残留奥氏体含量略有增加,同时伴随着大量纳米级Nb-Mo碳化物析出;并且试验钢的力学性能明显改善,其抗拉强度达到1044 MPa,伸长率为22. 4%。微观组织表征结果表明:其主要强化机制为残留奥氏体的相变诱发塑性(TRIP)效应以及纳米尺寸Nb、Mo碳化物通过钉扎晶界和位错,从而达到细晶强化和第二相颗粒强化。
- 洪济舟宋双喜王俊峰王利王晓东
- 关键词：微合金化纳米析出相
- 铜与硅之间W/Mo-N薄膜的扩散阻挡层性能被引量：4
- 2005年
- 研究了铜与硅之间W/Mo-N薄膜的扩散阻挡性能。在Si(100)基片上利用反应溅射沉积一层Mo-N薄膜,然后再利用直流溅射在Mo-N上面沉积Cu/W薄膜。样品在真空下退火,并利用四点探针、X射线衍射分析、扫描电镜分析、俄歇电子能谱原子深度剖析等测试方法研究了Cu/W/Mo-N/Si的热稳定性及W/Mo-N薄膜对铜与硅的扩散阻挡性能。实验分析表明,Cu/W/Mo-N/Si结构具有非常好的热稳定性,在600oC退火30min仍未发生相变,并能有效的阻挡铜与硅之间的扩散。
- 宋双喜刘玉章毛大立李明
- 关键词：扩散阻挡层溅射热稳定性
- 一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法
- 本发明涉及一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法，该方法利用现有的聚焦离子束刻蚀出“工字形”的薄膜横截面样品，将此试样焊接至推拉式(Push to Pull，PTP)装置上，再基于纳米压入技术直接单向拉伸，修正...
- 叶岚宋双喜
- 文献传递
