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刘在行

作品数：20 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 2篇科技成果
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 16篇真空泵
  • 9篇轴承
  • 9篇轴承腔
  • 7篇转子
  • 7篇罗茨
  • 6篇涡旋真空泵
  • 5篇轴封
  • 5篇密封
  • 3篇转子轴
  • 3篇涡旋盘
  • 3篇罗茨真空泵
  • 3篇盲孔
  • 3篇密封结构
  • 3篇干式真空泵
  • 3篇泵腔
  • 3篇齿轮
  • 3篇齿轮传动
  • 3篇传动
  • 2篇挡圈
  • 2篇仪器

机构

  • 19篇中国科学院
  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇中国科学院沈...

作者

  • 20篇刘在行
  • 20篇王光玉
  • 10篇张振厚
  • 7篇雷震霖
  • 4篇孔祥玲
  • 2篇薛玉茹
  • 2篇郭丽娟
  • 2篇张利国
  • 2篇房伟
  • 2篇李昌龙
  • 2篇秦柏林
  • 1篇丛培田
  • 1篇张健
  • 1篇秦佰林
  • 1篇赵洪吉
  • 1篇刘坤
  • 1篇郭俊辉
  • 1篇曹松松

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 5篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
涡旋干式真空泵
张振厚王光玉秦柏林孔祥玲郭丽娟刘在行张利国薛玉茹
涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备，是生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件以及电子设备整机装备的专用设备，彻底解决了真空仪器设备的油污染问题，已成为世界上发展最快的泵种之一。国内市场...
关键词：
关键词：真空泵
涡旋真空泵排气口结构
本实用新型属于真空泵领域，具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构，包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯，其中排气适配器与真空泵密封螺纹连接，阀挡及橡胶阀芯分别安装在排气适配器内的上下两端，橡胶阀芯的一端位于排气适配器上排气口...
雷震霖王光玉刘在行
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一种真空泵密封结构
本实用新型涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤装置及油气分离装置，所述轴在轴承腔与油腔的部分沿轴向设有盲孔，过滤装置设置在该盲孔的靠近油腔的一端，所述轴的轴承腔段...
张振厚王光玉刘在行
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一种干式真空泵用电机
本实用新型属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵用电机，包括电机外壳、定子及转子，其中电机外壳内设有带空腔的定子，所述转子安装在干式真空泵的主动轴上、并位于定子的空腔内；所述定子与泵体之间采用止口定位。本实用新型彻底解...
李昌龙王光玉刘在行
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一种罗茨真空泵
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从...
雷震霖王光玉刘在行
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一种罗茨真空泵
本发明涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从动转...
雷震霖王光玉刘在行
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一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵...
雷震霖王光玉刘在行
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一种多级干式真空泵的清洗装置
本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路，减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量...
王光玉秦佰林房伟刘在行
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一种真空泵密封结构
本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵密封结构。包括依次贯穿油腔、轴承腔及泵腔的轴、双唇轴封、过滤装置及油气分离装置，所述轴在轴承腔与油腔的部分沿轴向设有盲孔，过滤装置设置在该盲孔的靠近油腔的一端，所述轴的轴承腔段沿径...
张振厚王光玉刘在行
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罗茨干泵(机组)
张振厚王光玉秦柏林张利国薛玉茹刘坤张健赵洪吉刘在行郭丽娟郭俊辉房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备，由于技术门槛高，国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额，国内产品在工程化应用方面尚属于空白。　　罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为：　...
关键词：
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共2页<12>
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