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于航

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：京东方科技集团股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 8篇光刻
  • 4篇导电薄膜
  • 4篇掩膜
  • 4篇透明导电
  • 4篇透明导电薄膜
  • 4篇显示装置
  • 4篇金属薄膜
  • 4篇构图
  • 4篇光刻胶
  • 3篇掩模
  • 3篇掩模板
  • 3篇液晶
  • 3篇图案
  • 3篇工件
  • 2篇导体
  • 2篇掩膜板
  • 2篇掩膜版
  • 2篇液晶面板
  • 2篇有源
  • 2篇照射

机构

  • 17篇京东方科技集...

作者

  • 17篇于航
  • 7篇张锋
  • 4篇周伟峰
  • 4篇宁策
  • 4篇惠官宝
  • 3篇高涛
  • 2篇戴天明
  • 2篇张方振
  • 2篇姚琪
  • 2篇李明超
  • 1篇吕志军

年份

  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 12篇2012
共 17 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
掩膜版
本实用新型提供一种掩膜版，包括：掩膜版基板，所述掩膜版基板上设置有透光区域和不透光区域，所述透光区域上设置有汇聚光线的光汇聚结构。本实用新型通过设置使照射到掩膜版的透光区域的光汇聚的光汇聚结构，使得使用掩膜版曝光后形成的...
于航张锋
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一种阵列基板制造方法及系统
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及系统，解决现有技术中生产TFT阵列基板效率较低的问题，本发明实施例提供的方法包括：沉积阵列基板膜层，利用针等离子体放电装置在沉积膜层上进行刻蚀成型操作，形成所需的膜层图形，由于采用针等...
于航张锋惠官宝周伟峰
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一种装载箱
本实用新型提供一种装载箱，包括箱体，还包括有设置在箱体内的主体载物盘和活动支撑机构，所述主体载物盘用于放置工件，所述活动支撑机构能够将主体载物盘上的工件托起。该装载箱结构简单、便于机械臂将柔性玻璃基板等工件放入和取出，且...
高涛周伟峰吕志军于航
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线性涂胶喷嘴的清洗装置
本实用新型涉及液晶显示器制造的线性涂胶技术领域，具体公开了一种线性涂胶喷嘴的清洗装置，其包括：清洗模块，包括容置件和作为底边的刮胶模块，所述清洗模块的形状与线性涂胶喷嘴的形状相适应，所述刮胶模块设有供胶体流出的通道；机械...
于航惠官宝张锋
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对位标识及在曝光工艺中采用该对位标识制作工件的方法
本发明提供一种对位标识，其包括N个对位标记，所述N个对位标记分别设于N个掩模板上，所述第一对位标记包括第一子标记和第二子标记，所述第一子标记和第二子标记设于第一掩模板上且关于第一掩模板上的一点形成中心对称；除第一掩模板外...
于航
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一种薄膜晶体管的制造方法及阵列基板的制造方法
本发明实施例提供的一种薄膜晶体管的制造方法及阵列基板的制造方法，涉及液晶面板制造领域，能够使源/漏极和栅极之间对位精确。所述薄膜晶体管的制造方法包括：在透明基板上形成栅极；在形成有所述栅极的基板上形成栅绝缘层；在所述栅绝...
高涛宁策于航张方振
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阵列基板及其制造方法、显示装置
本发明公开一种阵列基板极其制造方法、显示装置，涉及TFT-LCD技术领域。该阵列基板的栅线和/或数据线上留有至少一个空隙，空隙的下方形成有透明导电薄膜区域，空隙的上方形成有垂直或平行于对应的栅线或数据线的像素电极关键尺寸...
张锋戴天明姚琪于航
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存放盒
本实用新型涉及掩膜版相关技术领域，公开了一种存放盒，包括盒体及与其相连的盒盖，所述存放盒内设置有支撑机构，以支撑放入存放盒的被存放物，该被存放物下方设置有升降机构，所述升降机构与所述盒盖连接；所述盒盖打开时，所述升降机构...
于航
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一种阵列基板制造方法及系统
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及系统，解决现有技术中生产TFT阵列基板效率较低的问题，本发明实施例提供的方法包括：沉积阵列基板膜层，利用针等离子体放电装置在沉积膜层上进行刻蚀成型操作，形成所需的膜层图形，由于采用针等...
于航张锋惠官宝周伟峰
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显影液的喷洒装置
本实用新型提供一种显影液的喷洒装置，为解决现有技术中在玻璃基板上喷洒显影液不均匀的技术问题而设计。所述的显影液的喷洒装置，包括：密闭的盒体，所述盒体的底壁的第一端设置有一液体出口，所述液体出口的宽度与待喷洒显影液的玻璃基...
于航惠官宝
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共2页<12>
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