黄美浅 作品数:45 被引量:75 H指数:5 供职机构: 华南理工大学电子与信息学院 更多>> 发文基金: 教育部留学回国人员科研启动基金 广东省自然科学基金 广东省重点攻关基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 更多>>
不同沟道长度对n沟MOSFET退化特性的影响 被引量:1 2005年 研究不同沟道长度n沟道MOS场效应晶体管的热载流子效应对其退化特性的影响。实验结果表明,随着器件沟道长度的减小,其跨导退化明显加快,特别是当沟道长度小于1 mm时更是如此。这些结果可以用热载流子注入后界面态密度增加来解释。 黄美浅 朱炜玲 章晓文 陈平 李观启关键词:MOS场效应晶体管 热载流子效应 阈值电压 跨导 携带气体对二氧化硅干法刻蚀的影响 被引量:4 2005年 文章研究了采用氩气和氦气作携带气体时气体流量对刻蚀速率、均匀性和选择比等主要刻蚀参数的影响。实验结果表明,当采用氩气作携带气体时,其流量选择在氩气∶刻蚀气体≈1∶1时,刻蚀结果优化;当选择氦气作携带气体时,其流量选择在氦气∶刻蚀气体≈2∶1时,刻蚀结果优化。氩气和氦气相比,氩气更具优越性。 敬小成 黄美浅 姚若河关键词:半导体工艺 氩气 氦气 干法刻蚀 等离子体 一种提高晶体管性能的方法 本发明是一种提高晶体管性能的新方法,能广泛应用于晶体管、集成电路的生产。本发明要点是在室温和真空中用A<Sub>r</Sub><Sup>+</Sup>束辐照管芯背面来提高或调节h<Sub>FE</Sub>和f<Sub>T... 曾绍鸿 李观启 黄美浅 曾勇彪文献传递 氧退火对SiO_2/Si衬底BST薄膜特性的影响 2004年 利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛酸锶钡薄膜 ,并在氧气中进行不同条件的退火处理 ,然后蒸铝及利用光刻技术制作铝电极而形成 MIOS电容结构 ,研究其物理及电学特性。结果表明 ,氧退火条件对衬底的钛酸锶钡薄膜的物理及电学特性有较为明显的影响。 陈平 黄美浅 李观启 李斌 陈蒲生关键词:钛酸锶钡薄膜 物理特性 电学特性 介电常数 快速热氮化改善n-MOSFET栅氧化层的加速击穿 被引量:3 1995年 研究不同类型、不同沟道长度的n沟金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)在不同栅电压下工作时栅氧化层的击穿特性。结果表明,MOSFET栅氧化层的加速击穿起因于沟道大电流,而栅氧化层进行快速热氮化可极大地改善其栅氧化层的击穿特性。 黄美浅 李观启 刘百勇关键词:击穿电压 MOSFET 栅氧化层 热氮化 聚3-己基噻吩聚合物薄膜晶体管的稳定性 被引量:4 2010年 为提高聚合物薄膜晶体管的稳定性,以单晶硅为衬底,二氧化硅为栅介质层,聚3-己基噻吩(P3HT)薄膜为半导体活性层,金属Au为源、漏电极,制备出聚合物薄膜晶体管(PTFT),对该器件的电特性进行了表征,研究了该器件在空气环境下的稳定性,并对该器件在空气中的不稳定性机理进行了讨论.结果表明:当器件暴露在空气中时,随着暴露时间的增加,器件的饱和漏电流明显增大,阈值电压逐渐增加;空气中的水是影响器件特性的主要因素;通过采用光刻胶钝化处理可以有效地改善P3HT-PTFT器件在空气中的稳定性,并使器件的载流子迁移率提高3倍. 刘玉荣 左青云 彭俊彪 黄美浅关键词:薄膜晶体管 稳定性 钝化 热敏电阻测量法的研究 被引量:10 2004年 对两种型号的热敏电阻样品进行测量,测试它们的R-T特性,设计了一种简便有效的。0℃时电阻值的测试方法,与小型高低温箱中0℃时测得的电阻值作对比,测量结果具有相当好的符合性。根据0℃和25℃的实验数据计算了热敏电阻材料性质的表征量,测量结果表明:两种型号的热敏电阻值的B值范围大多在10%以内。 林晓玲 黄美浅 章晓文关键词:热敏电阻 R-T特性 Al-SiO_xN_y-Si系统有效功函数差和界面特性的研究 1995年 本文采用氩离子刻蚀法,将SiOxNy膜减薄成不同厚度的样片,并制成Al-SiOxNy-Si系统的MIS电容器。利用平带电压随膜厚度变化的关系和最小二乘法,测定有效功函数差和Si-SiOxNy系统的固定电荷密度。结果表明,该系统的平带电压值明显高于Al-SiO2-Si系统的值,原因是固定电荷密度增大、有效功函数差减小和相对介电常数增大的综合结果。有效功函数差的减小与Si-SiOxNy界面态密度的增大有关。 李观启 严东军 黄美浅 曾绍鸿 刘百勇关键词:氧化膜 氮化 功函数 界面态 硅衬底Sr_(1-x)La_xTiO_3薄膜光敏特性研究 2001年 利用氩离子束镀膜技术在 Si O2 / Si衬底上淀积钛酸镧锶 (Sr1 - x L ax Ti O3)膜 ,并制成平面型电阻器。研究了薄膜电阻器的光电流与照度、电压和电极间距的关系以及薄膜在调制光下的频率特性 ,计算出薄膜中载流子寿命约为 2 9ms。结果表明 ,Sr1 - x L ax Ti O3薄膜在可见光区域具有较好的光敏特性 ,其灵敏度和光电导增益都比较高。在弱照度下 ,光电流随照度变化较快 ,主要与单分子复合过程相关 ;而在强照度下 ,变化趋于缓慢 。 刘玉荣 李观启 黄美浅 曾绍鸿关键词:硅衬底 用IR及XPS研究Photo-CVD SiO_2薄膜特性 被引量:1 2003年 在低温下采用以低压Xe气激发真空紫外光作光源,以SiH_4和O_2作为反应气体的直接光CVD技术在硅衬底上成功地淀积出SiO_2薄膜。用红外光谱分析发现,薄膜中未出现与Si—H、Si—OH相应的红外吸收峰,Si—O伸缩振动所对应的吸收峰峰位在1054~1069cm^(-1)之间;通过高频C-V特性曲线计算出SiO_2-Si系统中固定氧化物电荷密度在2×10^(10)~3×10^(11)cm^(-2)范围内;XPS分析表明,SiO_2薄膜中Si的2p能级结合能为103.6 eV,界面处亚氧化硅的总含量为每平方厘米3.72×10^(15)个原子。 刘玉荣 李观启 黄美浅关键词:光CVD SIO2薄膜 XPS C-V特性