邬玉亭
- 作品数：21 被引量：64H指数：5
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家重大科学工程更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 声表面波直线型电机小型化的研究
- 2004年
- 随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。
- 熊瑛邬玉亭褚家如
- 关键词：机电耦合系数压电材料声表面波直线电机微机电系统
- 记忆合金螺旋弹簧的性能测试及设计方法被引量：10
- 1992年
- 用作者研制的记忆特性测试仪对Cu-Zn-Al形状记忆合金螺旋弹簧进行测试,以其结果为依据,介绍了螺旋弹簧的设计方法。同时还指出了在使用形状记忆合金元件时必须注意的若干问题。
- 杨杰吴月华周榆生张昌文邬玉亭邱自学
- 关键词：形状记忆合金螺旋弹簧记忆效应
- 平行弹性铰支微动台的设计
- 2001年
- 介绍了平行弹性铰支二维、三维微动台的形成原理、设计方法，讨论了影响它们精度的因素，以及静态特性。
- 邬玉亭劳创海
- 关键词：微动台连杆机构固定端
- PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究被引量：8
- 2008年
- 研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的内应力。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、反应气体流量比、载气体分压比和反应压强对氮化硅薄膜的内应力的影响,并且分析了氮化硅薄膜内应力的形成机制。制备出了应力只有-182.4MPa的低应力氮化硅薄膜。
- 杨景超赵钢邬玉亭许晓慧
- 关键词：氮化硅薄膜内应力PECVD
- 电动无尘擦黑板机
- 本实用新型涉及教学用擦黑板器具。它包括传动机构和除尘黑板擦机构,其传动机构由电动机、环绕在黑板四周的钢丝绳及支承滚轮构成,电动机、滚轮固定在墙壁上;除尘黑板擦机构是带壳体的上下条形擦拭装置,壳体上下两端限位于固定在墙壁上...
- 邬玉亭沈连官欧冰涛劳创海
- 文献传递
- PECVD中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响被引量：5
- 2007年
- 研究了平板电容式PECVD设备中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、载气体分压比和反应压强与电子能量状态之间的联系及电子能量状态变化对氮化硅薄膜应力的影响。最终制备出了应力只有-182.4 MPa的低应力氮化硅薄膜。
- 杨景超赵钢邬玉亭
- 关键词：PECVD氮化硅应力电子能量
- 电容式数显内径测微仪被引量：2
- 1995年
- 电容式数显内径测微仪中国科技大学精密机械与仪器系（合肥２３００２６）邬玉亭，刘荣进，劳创海合肥矿山机械厂（２３００１１）李勇一、引言目前工厂常用的内径量具如游标卡尺、内径千分尺等测量效率较低，其示值机构靠肉眼对准读数，测量精度受到人为视觉误差的影响。...
- 邬玉亭刘荣进劳创海李勇
- 关键词：电容式
- 容栅测角数显仪的研制
- 1996年
- 本文介绍了容栅传感器测量位移的工作原理及其研究应用发展概况，并给出了分辨率为1’的容栅测角数显仪的具体设计。
- 胡跃全刘荣进邬玉亭
- 关键词：容栅传感器鉴相测角数显位移测量仪
- 采用线阴极的快速阳极键合方法被引量：12
- 2003年
- 在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞,键合强度为16.7MPa。
- 吴登峰邬玉亭褚家如张淑珍
- 关键词：阳极键合时间-电流特性力学模型
- 光纤定位单元粗跑合阶段的故障分析与处理
- 2007年
- 针对光纤定位单元在粗跑合阶段的故障现象,分析故障产生机理,研究并提出了故障排除方法和手段.结合该阶段光纤定位单元的运行特点,建立光纤定位单元的故障树,还根据故障树来评价各零部件的故障状态及其对保证系统可靠性、安全性的重要程度.
- 干方建邬玉亭胡红专
- 关键词：光纤定位单元跑合故障机理故障树
