袁丛清
- 作品数：4 被引量：27H指数：3
- 供职机构：西安交通大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- 微柔顺装置及其力学分析被引量：4
- 2004年
- 根据微装配及柔性铰链的特点 ,提出了微柔顺装置 (MRCC ,MicroRemoteCenterCompliance)并对其进行了力学分析。由平衡方程和几何相容条件推导出了三个重要的设计参数———位移刚度Kx、角位移刚度K 和中心距L的表达式。讨论并示例了柔性铰链的刚度系数、结构参数、位置参数对Kx、K 和L的影响 ,分析结果表明 ,位置参数中的转角θ对Kx、K 和L影响最大 ,而且要同时获得Kx、K 和L的最佳值是不可能的 ,只能在设计微RCC时综合考虑 ,选择合适的θ值。
- 陈晓南袁丛清杨培林庞宣明
- 关键词：柔性铰链微装配
- 并行环境下产品设计活动序列的研究被引量：5
- 2002年
- 结合电磁轴承 转子系统 ,研究了产品设计过程的建模方法 ,建立了产品设计活动序列的网络模型及其矩阵表达 .基于设计活动的序列网络模型 ,对设计过程中各设计活动序列出现的概率、关键路径及其延续时间作了分析研究 .结果表明 ,这种方法可以对产品设计过程中的设计活动进行定量分析 ,从而来确定影响产品设计进程的关键环节 ,为并行设计的组织、实施提供指导 .
- 杨培林陈晓南王陈春袁丛清
- 关键词：产品设计设计过程建模电磁轴承-转子系统
- 等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究被引量：18
- 2004年
- 用实验方法研究了在感应耦合等离子体(ICP)的干法刻蚀过程中,工艺参数对刻蚀速率的影响.研究结果表明,刻蚀速率随SF6气体流量、自偏压以及射频功率的增大而增大,但当SF6气体流量、自偏压达到一定值后,刻蚀速率开始降低.实验中对工艺参数进行了优化,在射频功率为500W、自偏压为150V、流量为50cm3/s,以及SiO2和Si3N4的选择比为15的条件下,硅的刻蚀速率达到了0 80μm/min.
- 陈晓南杨培林庞宣明袁丛清
- 关键词：感应耦合等离子体干法刻蚀
- 微流体压力检测实验台中的硅微通道加工工艺研究
- 该文利用MEMS加工技术制作了微通道,为微流体的实验研究奠定了坚实的基础.通过对微流体特征问题的分析,设计了微流体压力检测实验台.在微通道的结构设计中,通过引入支流通道来连接压力传感器,克服了直接在微通道内集成微压力传感...
- 袁丛清
- 关键词：微机电系统微流体系统微通道感应耦合等离子体
- 文献传递
