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聂鲁燕
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
核科学技术
机械工程
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合作作者
裘祖荣
天津大学精密仪器与光电子工程学...
洪昕
天津大学精密仪器与光电子工程学...
幺春娟
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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裘祖荣
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制造技术与机...
年份
1篇
2006
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微装配中微靶球的三维移动
被引量:1
2006年
设计了一种用于惯性聚变的微靶球三维移动装置。采用CCD显微镜检测实现闭环装配以保证精度;由电控平移台作为粗动环节,压电陶瓷作为微动环节而形成的两级微动机构可以实现最小分辨力为0.1μm的微位移;直线+旋转执行器的旋转/线性移动实现了微靶球的三维移动;专用真空吸取器的设计解决了微靶球的取放问题。
聂鲁燕
裘祖荣
幺春娟
洪昕
关键词:
压电陶瓷
步进电动机
微装配
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