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聂鲁燕

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：核科学技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇电动机
  • 1篇压电
  • 1篇压电陶瓷
  • 1篇微装配
  • 1篇步进
  • 1篇步进电动机

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇幺春娟
  • 1篇聂鲁燕
  • 1篇洪昕
  • 1篇裘祖荣

传媒

  • 1篇制造技术与机...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微装配中微靶球的三维移动被引量：1
2006年
设计了一种用于惯性聚变的微靶球三维移动装置。采用CCD显微镜检测实现闭环装配以保证精度;由电控平移台作为粗动环节,压电陶瓷作为微动环节而形成的两级微动机构可以实现最小分辨力为0.1μm的微位移;直线+旋转执行器的旋转/线性移动实现了微靶球的三维移动;专用真空吸取器的设计解决了微靶球的取放问题。
聂鲁燕裘祖荣幺春娟洪昕
关键词：压电陶瓷步进电动机微装配
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