聂宏飞
- 作品数：6 被引量：27H指数：3
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- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 集成电路芯片视觉对准方法
- 集成电路芯片视觉对准方法，属于集成电路芯片封装方法，针对现有方法局限，实现芯片上键合点快速准确对准。本发明在引线框架和芯片上分别选取设计样本点，图像处理求出样本点测量坐标值，根据图像不变矩检测出有缺陷的芯片；解得芯片位置...
- 李小平聂宏飞李朝晖杨文建
- 文献传递
- 基于灰色辨识的光刻机恒温控制系统建模被引量：4
- 2008年
- 针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特点,采用理论建模与系统辨识相结合的建模方法,运用大系统解耦理论实现高阶模型的降阶分解,设计多态抗失真试验采集输出数据序列,采用系统辨识方法估计数学模型参数,建立分散时滞、扰动的温控系统动态数学模型。此模型已被成功运用于光刻机投影物镜高精度恒温控制系统中,达到了0.006℃的温度稳定度,并表现出较强的鲁棒性和自适应性。
- 聂宏飞李小平
- 关键词：温度控制
- 步进扫描投影光刻机投影物镜精密温度控制系统被引量：2
- 2006年
- 针对投影物镜在光刻机工作时高精度温度控制要求及其自身体积庞大、质量重、温度难以控制的特点,提出了一种由主控制器、温度采集系统、水温控制系统组成的串级控制系统的方案,简要介绍了高精度温度采集系统和水温控制系统,并通过对光刻机工作时产生的热量进行分析计算,建立了模拟的投影物镜温度控制平台,再基于此平台对温度控制方案进行实验研究,研究结果表明:投影物镜温度波动小于±0.01℃,并具有良好的调节曲线。
- 余斌李小平聂宏飞
- 关键词：投影物镜温度控制PID控制算法
- 半导体制冷研究概述被引量：19
- 2009年
- 半导体制冷因其无震动、无噪音、可靠性高、热惯性小、冷量输出无级调节等优点,已成为温控执行器研究的热点之一。本文在介绍了半导体制冷的基本原理后,对目前半导体制冷的关键技术进行了简要分析和总结,包括材料、工作状态、散热方式等方面的研究进展,预测了半导体制冷后续值得关注和研究的方面。
- 何燕聂宏飞张洪兴
- 关键词：半导体制冷热电效应
- 集成电路芯片视觉对准方法
- 集成电路芯片视觉对准方法，属于集成电路芯片封装方法，针对现有方法局限，实现芯片上键合点快速准确对准。本发明在引线框架和芯片上分别选取设计样本点，图像处理求出样本点测量坐标值，根据图像不变矩检测出有缺陷的芯片；解得芯片位置...
- 李小平聂宏飞李朝晖杨文建
- 文献传递
- 光刻机投影物镜的温度控制算法被引量：3
- 2008年
- 针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特征,提出了双输入双输出多模态非线性PI控制算法来提高温控过程的收敛速度和稳态精度。算法将温控系统从启动到稳定划分为5个控制模态,下层采用非线性PI算法实现精确控制,上层利用智能决策实现多模态的选择和切换。该算法已被成功运用于光刻机投影物镜温度控制系统中,实现了投影物镜温度控制的快速收敛,使光刻机在±0.006℃范围内稳定工作,对比实验进一步显示该算法具有较强的鲁棒性和自适应性。
- 聂宏飞李小平张玲莉
- 关键词：温度控制PI算法多模态
